浙江创芯集成电路有限公司方浩获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆承载设备及晶圆传送系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626975B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410342901.2，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权晶圆承载设备及晶圆传送系统是由方浩;崔元正;张一帆;杨小龙;陈少伟设计研发完成，并于2024-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆承载设备及晶圆传送系统在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供一种晶圆承载设备及晶圆传送系统，其中，晶圆承载设备包括：承载台，所述承载台具有承载晶圆的承载平面，所述承载平面的径向设置有多个导向槽；与所述导向槽相适配的限位件，且相适配的限位件与导向槽之间滑动配合，限位件的数量为多个；与各限位件连接，且带动各限位件沿着相适配的导向槽滑动，以使得限位件与晶圆相抵触的驱动装置。采用上述技术方案，能够降低晶圆在旋转过程中被甩出的概率。
本发明授权晶圆承载设备及晶圆传送系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载设备，其特征在于，包括： 承载台，所述承载台具有承载晶圆的承载平面，所述承载平面的径向设置有多个导向槽； 与所述导向槽相适配的限位件，且相适配的限位件与导向槽之间滑动配合，限位件的数量为多个； 与各限位件连接，且带动各限位件沿着相适配的导向槽滑动，以使得限位件与晶圆相抵触的驱动装置，所述驱动装置包括： 壳体； 滑移件，与壳体的内壁相接触，形成驱动腔室； 弹性件，与所述滑移件弹性配合，适于复位滑移件； 驱动杆，穿设于所述壳体，并分别与所述滑移件和限位件连接； 所述壳体上设置有向所述驱动腔室内提供气源，以驱动所述滑移件运动的驱动口； 所述驱动装置还包括：气源通道，设置于所述承载台内，并与所述驱动口连通。
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