浙江创芯集成电路有限公司汪平获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利气体温度调节系统以及调节方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119615130B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411822576.6，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权气体温度调节系统以及调节方法是由汪平;席蒙;练子岩设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体温度调节系统以及调节方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种气体温度调节系统以及调节方法，包括：具有腔室的壳体；加热装置，位于所述壳体外，用于加热流向所述腔室的气体至所述第一预设温度范围；制冷装置，位于所述壳体外，用于冷却流向所述腔室的气体至第一预设温度范围；温度监测单元，位于所述壳体外，用于监测流向所述腔室的气体温度；控制单元，分别与所述温度监测单元、所述制冷装置、所述加热装置、所述腔室连接，用于基于所述温度监测单元的监测结果，控制自所述温度监测单元流出的气体流向所述制冷装置或所述加热装置或所述腔室。本申请实施例可以降低腔室内气体传输管道结露的风险。
本发明授权气体温度调节系统以及调节方法在权利要求书中公布了：1.一种气体温度调节系统，其特征在于，包括： 具有腔室的壳体； 加热装置，位于所述壳体外，用于加热流向所述腔室的气体至第一预设温度范围； 制冷装置，位于所述壳体外，用于冷却流向所述腔室的气体至所述第一预设温度范围； 温度监测单元，位于所述壳体外，用于监测流向所述腔室的气体温度； 控制单元，分别与所述温度监测单元、所述制冷装置、所述加热装置、所述腔室连接，用于基于所述温度监测单元的监测结果，控制自所述温度监测单元流出的气体流向所述制冷装置或所述加热装置或所述腔室。
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