西安奕斯伟材料科技股份有限公司邹永鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请的专利线切割损伤深度的测量方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119560398B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411695598.0，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权线切割损伤深度的测量方法及系统是由邹永鑫;李梓伦设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本线切割损伤深度的测量方法及系统在说明书摘要公布了：本申请提供了线切割损伤深度的测量方法及系统，用于测量硅片在线切割后的损伤深度，所述方法包括：确定所述硅片的外表面与损伤区的过渡区；所述过渡区的上界线和下界线相互平行，所述上界线和所述下界线根据线痕方向和损伤点的位置信息确定；构建平行于所述上界线且平分所述过渡区的分界线；过所述损伤区中的倒数第N个损伤点，构建平行于所述分界线的损伤终止线；测量所述分界线与所述损伤终止线之间的距离，作为所述硅片的损伤深度。本申请通过定义过渡区、明确分界线和损伤终止线的标准，改善了损伤深度测量中存在的边界模糊和数据误差问题，提高了测量的精确度和重复性，降低了因偶然误差导致的测量不稳定性，适用类型广。
本发明授权线切割损伤深度的测量方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种线切割损伤深度的测量方法，其特征在于，用于测量硅片在线切割后的损伤深度，所述方法包括： 确定所述硅片的外表面与损伤区的过渡区；所述过渡区的上界线和下界线相互平行，所述上界线和所述下界线根据线痕方向和损伤点的位置信息确定； 构建平行于所述上界线且平分所述过渡区的分界线； 过所述损伤区中的倒数第N个损伤点，构建平行于所述分界线的损伤终止线；N为正整数； 测量所述分界线与所述损伤终止线之间的距离，作为所述硅片的损伤深度； 其中，所述线切割为金刚线线切割； 所述过渡区的上界线过所述过渡区中的第一个线痕终止点，且与所述线痕方向成第一目标角度； 所述过渡区的下界线过所述过渡区中的目标线痕终止点，且平行于所述上界线；所述目标线痕终止点根据线痕终止点的位置分布范围确定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安奕斯伟材料科技股份有限公司，其通讯地址为：710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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