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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利高目标的单次抓取叠加测量获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119317877B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380042905.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权高目标的单次抓取叠加测量是由A·玛纳森;A·V·希尔;Y·瓦克宁;A·萨夫兰尼设计研发完成，并于2023-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本高目标的单次抓取叠加测量在说明书摘要公布了：一种叠加计量系统可包含物镜、用以照明叠加目标的照明光学器件，所述叠加目标包含在第一样本层上的具有第一节距的第一光栅及在第二样本层上的具有第二节距的第二光栅，其中所述第一样本层与所述第二样本层分离达大于所述物镜的景深的层分离距离。所述系统可进一步包含具有径向变化的散焦分布以补偿所述层分离距离使得所述第一光栅及所述第二光栅同时聚焦于检测器上的集光光学器件。

本发明授权高目标的单次抓取叠加测量在权利要求书中公布了：1.一种叠加计量系统，其包括： 物镜； 一或多个照明光学器件，其经配置以在实施计量配方时通过所述物镜将来自照明源的照明引导到样本上的叠加目标，其中根据所述计量配方的所述叠加目标包含在第一样本层上的具有第一节距的第一光栅及在第二样本层上的具有第二节距的第二光栅，且其中所述第二节距小于所述第一节距，其中所述第一样本层与所述第二样本层分离达大于所述物镜的景深的层分离距离； 检测器；及 一或多个集光光学器件，其经配置以将通过所述物镜收集的光的至少一部分引导到所述检测器，其中所述计量配方规定，通过所述物镜收集的由所述第一光栅对所述照明的衍射级定位于光瞳平面中的阈值半径以下且通过所述物镜收集的由所述第二光栅对所述照明的衍射级定位于所述光瞳平面中的所述阈值半径以上，其中所述一或多个集光光学器件提供径向变化的散焦分布以补偿所述层分离距离，其中所述第一光栅及所述第二光栅同时聚焦于所述检测器上；及 控制器，其包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行引起所述一或多个处理器通过以下执行所述计量配方的程序指令： 接收来自所述检测器的所述叠加目标的一或多个图像，其中所述第一光栅及所述第二光栅同时聚焦于所述检测器上；及 基于所述一或多个图像确定所述样本的所述第一样本层与所述第二样本层之间的叠加测量。

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