深圳市松柏科工股份有限公司;珠海松柏科技有限公司;上海富柏化工有限公司刘纪有获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市松柏科工股份有限公司;珠海松柏科技有限公司;上海富柏化工有限公司申请的专利钛蚀刻液及其制备方法和在半导体陶瓷板表面处理的应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119287373B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411772903.1,技术领域涉及:C23F1/38;该发明授权钛蚀刻液及其制备方法和在半导体陶瓷板表面处理的应用是由刘纪有;饶猛;夏金良;莫庆生;赵子俊设计研发完成,并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本钛蚀刻液及其制备方法和在半导体陶瓷板表面处理的应用在说明书摘要公布了:本发明涉及一种钛蚀刻液及其制备方法和在半导体陶瓷板表面处理的应用。钛蚀刻液包括以下重量组分的原料:1.8‑3.0%的无机碱;4.0‑10.0%的过氧化氢;0.5‑1.0%的稳定剂;0.05‑0.3%的铜面保护剂;0.2‑0.6%的加速剂;以及余量的去离子水。钛蚀刻液的制备方法具体包括以下步骤:提供上述组分的原料,在蚀刻槽内依次加入所述去离子水、无机碱、过氧化氢、稳定剂、铜面保护剂和加速剂并搅拌5~10min。本发明提供的钛蚀刻液在半导体陶瓷板表面处理的应用时,蚀刻处理的温度为50~60℃的恒温退钛,蚀刻处理的时间为30~100s。本发明提供一种蚀刻均匀性好,蚀刻速率快,蚀刻因子高的钛蚀刻液。
本发明授权钛蚀刻液及其制备方法和在半导体陶瓷板表面处理的应用在权利要求书中公布了:1.一种钛蚀刻液,其特征在于,所述钛蚀刻液包括以下重量组分的原料: 3.0%的氢氧化钾; 9.0%的过氧化氢;其中,所述过氧化氢的浓度为30%; 0.8%的稳定剂;其中,所述稳定剂为按重量比例为1:1.5的烯烃及其衍生物和乙二胺四乙酸二钠; 0.3%的铜面保护剂;其中,所述铜面保护剂为按重量比例为1:0.8的甲基咪唑和咪唑; 0.6%的加速剂;其中,所述加速剂为按重量比例为1:0.2的二乙二醇丁醚和甲基醚丁香酚; 以及余量的去离子水。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市松柏科工股份有限公司;珠海松柏科技有限公司;上海富柏化工有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市宝安区沙井街道沙四社区帝堂路蓝天科技园8栋二层、一层, 12栋一层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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