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龙图腾网获悉苏州佳智彩光电科技有限公司申请的专利基于折返式光学装置的调焦方法、系统、计算机设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119270451B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411443647.1，技术领域涉及：G02B7/02；该发明授权基于折返式光学装置的调焦方法、系统、计算机设备和存储介质是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于折返式光学装置的调焦方法、系统、计算机设备和存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于折返式光学装置的调焦方法、系统、计算机设备和存储介质，其中方法包括获取当前作用在单个电光调谐平板玻璃上的电场的强度，以确定单个电光调谐平板玻璃的折射率变化；获取光束的边缘光线在电光调谐平板玻璃组上的入射角；根据入射角和单个电光调谐平板玻璃的折射率变化，确定光束的边缘光线在电光调谐平板玻璃组内的折射角；根据入射角、当前的折射角、电光调谐平板玻璃组的厚度和单个电光调谐平板玻璃的折射率变化确定当前电光调谐平板玻璃组的调焦量。本发明能够为不同的待测晶圆提供准确的实时对焦，克服仅依赖离焦关系标定曲线对焦过程中因晶圆上待测点的图案形状和反射率差异等对测量结果的影响，提高缺陷检测灵敏度。

本发明授权基于折返式光学装置的调焦方法、系统、计算机设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种基于折返式光学装置的调焦方法，其特征在于，所述折返式光学装置依次包括管镜组、聚焦透镜组、场透镜组、电光调谐平板玻璃组和折返式镜头组； 所述聚焦透镜组用于形成中间像面；所述场透镜组用于对中间像进行色差校正；所述折返式镜头组用于将中间像会聚到最终像面；所述管镜组用于放大中间像；所述电光调谐平板玻璃组用于调整所述聚焦透镜组的等效焦距； 所述调焦方法，包括： 在电光调谐平板玻璃组中，获取当前作用在单个电光调谐平板玻璃上的电场的强度，以作为第一电场强度； 根据第一电场强度确定单个电光调谐平板玻璃的折射率变化； 在经过聚焦透镜组的光束入射至电光调谐平板玻璃组时，获取光束的边缘光线在电光调谐平板玻璃组上的入射角； 根据入射角和单个电光调谐平板玻璃的折射率变化，确定光束的边缘光线在电光调谐平板玻璃组内的折射角； 根据入射角、当前的折射角、电光调谐平板玻璃组的厚度以及单个电光调谐平板玻璃的折射率变化确定当前电光调谐平板玻璃组的调焦量。

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