北京自动化控制设备研究所祖建晶获国家专利权
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龙图腾网获悉北京自动化控制设备研究所申请的专利一种硅压阻压力传感器稳定性的快速评价方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119063908B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411060274.X,技术领域涉及:G01L27/00;该发明授权一种硅压阻压力传感器稳定性的快速评价方法是由祖建晶;柏楠;朱晓;牛光星设计研发完成,并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅压阻压力传感器稳定性的快速评价方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种硅压阻压力传感器稳定性的快速评价方法,该该方法首先通过随机振动——温度与压力循环——随机振动的环境应力筛选过程,通过采集环境应力筛选过程中的数据,并设置相关判据,一方面剔除故障传感器,另一方面释放硅压阻压力传感器内部的残余应力以使其性能指标趋于稳定,之后通过对释放残余应力后的硅压阻压力传感进行连续性能监测,通过测试数据推算出传感器在一年或者多个年内的长期稳定性误差。应用本发明的技术方案,以解决现有技术中传感器稳定性指标测试时间长导致难以实现快速评价的技术问题。
本发明授权一种硅压阻压力传感器稳定性的快速评价方法在权利要求书中公布了:1.一种硅压阻压力传感器稳定性的快速评价方法,其特征在于,所述方法包括: S1,对硅压阻压力传感器进行性能测试以得到性能测试数据; S2,对S1中性能测试后的硅压阻压力传感器进行一次随机振动,并对该次随机振动后的硅压阻压力传感器进行性能测试以得到性能测试数据; S3,判断S1和S2中得到的两次性能测试数据的变化量是否大于第一预设门限值,如果是,则转至S4,如果否,则转至S6; S4,重复S2,判断重复S2前后的性能测试数据的变化量是否大于所述第一预设门限值,如果是,则转至S5,如果否,则转至S6; S5,重复S4,且当重复次数到达预设振动次数上限时停止重复并剔除该硅压阻压力传感器,判断该剔除的硅压阻压力传感器为故障传感器; S6,对S3和或S4得到的硅压阻压力传感器所在环境的温度进行调整以使其依次在多个预设的温度点进行多轮循环,在每个预设的温度点下对所述环境的压力进行调整以使其循环多次达到多个预设的压力点,采集硅压阻压力传感器在每轮温度循环中每个温度点下每个压力点对应的输出数据; S7,对S6得到的硅压阻压力传感器进行性能测试后进行一次随机振动,并在该次随机振动后再次进行性能测试,获取硅压阻压力传感器在该次随机振动前后的性能测试数据; S8,判断S6中每相邻两轮温度循环中同一温度点下同一压力点对应的两轮输出数据的变化量的最大值是否大于第二预设门限值,如果是,转至S9,如果否,则转至S11; S9,判断S7中随机振动前后的性能测试数据的变化量是否大于第三预设门限值,如果是,则转至S10,如果否,则转至S11; S10,重复S1至S9,并且当重复次数达到预设重复次数时停止重复并剔除该硅压阻压力传感器,判断该剔除的硅压阻压力传感器为故障传感器; S11,对S8和或S9得到的硅压阻压力传感器进行预设时长的连续性能监测以得到所述预设时长内的短期稳定性误差,并根据所述预设时长内的短期稳定性误差计算得到一年或多年内的长期稳定性误差。
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