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龙图腾网获悉中国原子能科学研究院申请的专利一种基于2.45GHzECR离子源动态放电腔的引出结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118712034B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410830466.8，技术领域涉及：H01J27/02；该发明授权一种基于2.45GHzECR离子源动态放电腔的引出结构是由蒲禧;贾先禄;张贺;汪洋;王羲;丁傲轩;农竹杰设计研发完成，并于2024-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于2.45GHzECR离子源动态放电腔的引出结构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于2.45GHzECR离子源动态放电腔的引出结构，该引出结构由包括两个地电极在内的内外嵌套的四根圆柱形电极组成；该内外嵌套的四根圆柱形电极组成引出区的两段加速区域；该两段加速区域用于调整引出区的场线分布；抑制极3和第二地电极4之间的减速区域用于抑制反向加速至源内的电子；第一电极2以防止抑制极电源上负载过高而导致损坏。该四根电极之间的间隙d和各自的半径r随着动态放电腔内径的尺寸变化而变化。本发明通过在等离子体电极和抑制电极之间加入一个地电极，使得引出口离子经过两次加速过程，改变了原有引出结构的场线分布，由于在等离子体电极1和抑制极3之间增加地电极，避免引出口电场磁场过大导致打火现象频繁发生。

本发明授权一种基于2.45GHzECR离子源动态放电腔的引出结构在权利要求书中公布了：1.一种基于2.45GHzECR离子源动态放电腔的引出结构，其特征在于：该引出结构由包括两个地电极在内的内外嵌套的四根圆柱形电极组成；该内外嵌套的四根圆柱形电极组成引出区的两段加速区域；该引出区的两段加速区域用于调整引出区的场线分布；抑制极3和第二地电极4之间的减速区域用于抑制反向加速至源内的电子；第一地电极2用以防止抑制极电源上负载过高而导致损坏；该四根圆柱形电极之间的间隙d和各自的直径r随着动态放电腔内径的尺寸变化而变化；所有电极和放电腔轴线之间的夹角均为45°形状；等离子体电极1的引出口为圆孔，直径为6～8mm；第一地电极2、抑制极3、第二地电极4的孔径为8mm；等离子体电极1和第一地电极2之间的间距为10mm；第一地电极2和抑制极3之间的间距为3mm；抑制极3和第二地电极4之间的间距为3mm；离子源采用两台同样的高压电源提供引出所需的高压，在等离子体电极和抑制极之间又加入了一个地电极，当引出区域真空状态不佳时，拉弧现象发生在等离子体电极和地电极之间，引出的几十千伏高压加在地电极上而不是加在抑制极上，从而防止抑制极电源上负载过高而导致损坏； 该引出结构顺序设有：等离子体电极1、第一地电极2、抑制极3、第二地电极4；所述两段加速区域为：由等离子体电极1和第一地电极2组成的第一加速区域、以及由第一地电极2和抑制极3组成的第二加速区域；所述两个地电极，第一地电极2用于将等离子体电极1和抑制极3之间分割为两段加速区域；第二地电极4用于离子经过两个加速区加速后，再减速到地电位，从而抑制反向加速至源内的电子，保护微波窗。

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