先导薄膜材料(广东)有限公司罗海奇获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种碲化锌旋转靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117776721B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311737564.9，技术领域涉及：C04B35/515；该发明授权一种碲化锌旋转靶材及其制备方法是由罗海奇;文崇斌;植锐俊;胡智向设计研发完成，并于2023-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碲化锌旋转靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于靶材技术领域，公开了一种碲化锌旋转靶材的制备方法，包括如下步骤：步骤1：Te粉末、Zn粉末和ZnTe粉末混合均匀，得到混合料；步骤2：将混合料进行一烧得到一烧产物，一烧温度为380‑420℃，一烧时间10‑20min；步骤3：将一烧产物球磨、均质得到均质料；步骤4：均质料装入双向压石墨旋转靶模具，进行热压烧结，降温出炉，即得高密度掺锌碲化锌旋转靶材。该方法有2个控制要点：1.研磨前要一烧，提高粉末结合均匀性，避免在双向热压过程中物质分布不均匀导致的电阻率过大；2.热压要采用双向热压，其压力可明显降低，且相对密度较高。同时，本发明还提供了该碲化锌旋转靶材。
本发明授权一种碲化锌旋转靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种碲化锌旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤1：Te粉末、Zn粉末和ZnTe粉末混合均匀，得到混合料； 步骤2：将混合料置于氮气氛围下，以3-6℃min升温速率升温至140-160℃保温15-25min，再升温到380-420℃，保温10-20min，完成一烧处理； 步骤3：将一烧产物球磨、均质得到均质料； 步骤4：均质料装入双向压石墨旋转靶模具，进行热压烧结，降温出炉，即得高密度掺锌碲化锌旋转靶材； 热压烧结的工艺参数为：先将环境压力抽真空至绝对真空度低于5Pa，然后升温到300～400℃，保温40～60min，继续升温到550～600℃，保温30～50min，然后开始加压，压力达到28MPa～30MPa后，继续保温50～60min。
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