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龙图腾网获悉深圳市中核海得威生物科技有限公司申请的专利一种电子级三氟化硼的生产系统及其生产方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117446816B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311188326.7，技术领域涉及：C01B35/06；该发明授权一种电子级三氟化硼的生产系统及其生产方法是由黄华璠;赵东升;陈世雄;李国威设计研发完成，并于2023-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电子级三氟化硼的生产系统及其生产方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种电子级三氟化硼的生产系统及其生产方法，生产系统包括依次连接的第一过滤器、第一除尘器、第一吸附塔、第二吸附塔、第二除尘器、第二过滤器、预精馏塔、脱轻塔、脱重塔、第三过滤器、中间储罐、隔膜压缩机；其中，第一吸附塔的吸附温度为10℃～35℃，第二吸附塔的吸附温度为‑20℃～0℃；预精馏塔的精馏压力为1.3MPa～2.5Mpa；脱轻塔的精馏压力为1.2MPa～2.4MPa；脱重塔的精馏压力为1.0MPa～2.2MPa。本发明工艺合理，设备投入少，操作简单，可以连续稳定的生产高纯三氟化硼，生产能力大，收率高，经纯化后，各项指标均符合要求，生产的BF33纯度在99.999％以上，质量稳定，可用于半导体行业及其它相关行业、可以更好的利用冷量和热量，使生产成本低。

本发明授权一种电子级三氟化硼的生产系统及其生产方法在权利要求书中公布了：1.一种电子级三氟化硼的生产方法，其特征在于，包括步骤： 加热第一吸附塔和第二吸附塔，用150℃~300℃干燥氮气进行吹扫10h~20h，关闭第一吸附塔和第二吸附塔的加热，对电子级三氟化硼的生产系统抽真空； 粗品三氟化硼经第一过滤器和第一除尘器，进入第一吸附塔和第二吸附塔吸附，第一吸附塔和第二吸附塔的吸附压力均为1.0MPa~1.5MPa，第一吸附塔的温度为10℃~35℃，第二吸附塔吸附的温度为-20℃~0℃； 吸附后再经第二除尘器和第二过滤器，接着进入预精馏塔进行纯化，再经脱轻塔和脱重塔进行深度净化；其中，所述预精馏塔的塔底温度为-50.7℃~-32.7℃，所述预精馏塔的塔顶温度为-51.5℃~-34.0℃，所述预精馏塔的精馏压力为1.3MPa~2.5MPa；所述脱轻塔的塔底温度为-53.0℃~-34.8℃，所述脱轻塔的塔顶温度为-53.9℃~-36.0℃，所述脱轻塔的精馏压力为1.2MPa~2.4MPa；所述脱重塔的塔底温度为-57.3℃~-37.2℃，所述脱重塔的塔顶温度为-57.8℃~-37.6℃，所述脱重塔的精馏压力为1.0MPa~2.2MPa的条件下进行精馏； 净化后高纯的三氟化硼经第三过滤器，并储存在中间储罐中，经隔膜压缩机压缩得到高纯瓶装的三氟化硼； 输送入所述预精馏塔待纯化三氟化硼的流量为1kgh~10kgh，塔底排重流量为0.05kgh~0.5kgh； 输送入脱轻塔待纯化三氟化硼的流量为0.95kgh~9.5kgh，塔顶排轻流量0.02kgh~0.2kgh； 输送入脱重塔待纯化三氟化硼的流量为0.93kgh~9.3kgh，塔底排重流量0.05kgh~0.5kgh，塔顶采出速率为0.88kgh~8.8kgh； 所述预精馏塔的回流比为30~170，脱轻精馏塔回流比为2000~8000，脱重精馏塔回流比为40~180。

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