江苏道达智能科技有限公司曹旭东获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏道达智能科技有限公司申请的专利一种半导体生产机台监测管理系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117198924B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310311384.8,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权一种半导体生产机台监测管理系统是由曹旭东设计研发完成,并于2023-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体生产机台监测管理系统在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体制造领域,公开了一种半导体生产机台监测管理系统,其技术方案要点是包括:监测规则配置模块,用于根据待加工产品信息,配置对应的监测管控规则;监测规则触发识别模块,用于识别监测规则是否被触发;监测执行模块,用于在监测规则被触发时,发出一次监测指令,对生产机台进行监测;控片控制模块,用于根据监测指令,控制对应数量的控片进入生产机台的加工产线;控片监测模块,用于对加工过的控片进行结果监测;监测结果识别模块,用于获取控片的加工监测结果,并判断生产机台实时生产状态参数;产线控制模块,用于根据生产机台实时生产状态参数,控制生产机台的运行。
本发明授权一种半导体生产机台监测管理系统在权利要求书中公布了:1.一种半导体生产机台监测管理系统,其特征是:包括: 监测规则配置模块,用于根据待加工产品信息,配置对应的监测管控规则;监测管控规则的种类包括:时间周期监测触发规则、数量周期监测触发规则、状态变化监测触发规则、异常状态监测触发规则,生产机台根据待加工产品信息,使用对应的监测管控规则组合; 监测规则触发识别模块,包括时间周期识别模块、数量周期识别模块、机台状态切换识别模块、异常情况识别模块;分别用于识别对应的监测管控规则是否被触发; 监测执行模块,用于在监测规则被触发时,发出一次监测指令,对生产机台进行监测; 控片控制模块,用于根据监测指令,控制对应数量的控片进入生产机台的加工产线; 控片监测模块,用于对加工过的控片进行结果监测; 监测结果识别模块,用于获取控片的加工监测结果,并判断生产机台实时生产状态参数,并记录生产机台的生产状态参数; 产线控制模块,用于根据生产机台实时生产状态参数,控制生产机台的运行,包括运行设定模块和运行控制模块,所述运行设定模块用于设定产线正常运行的最低生产状态参数;所述运行控制模块,用于在生产机台实时生产状态参数超过最低生产状态参数时,控制生产机台正常运行,在生产机台实时生产状态参数低于最低生产状态参数时,控制生产机台暂停生产。
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