先导薄膜材料(淄博)有限公司王震获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(淄博)有限公司申请的专利一种绑定金属收集装置及收集方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117165907B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311193553.9,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权一种绑定金属收集装置及收集方法是由王震;杨景文;余竹坤设计研发完成,并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种绑定金属收集装置及收集方法在说明书摘要公布了:本发明属于溅射镀膜技术领域,公开了一种绑定金属收集装置及收集方法。绑定金属收集装置包括金属收集管体和导流片,金属收集管体和导流片均为套设在靶材外壁的两端开口的管状结构;金属收集管体顶部设置环形开口,金属收集管体底部、金属收集管体内壁、金属收集管体外壁之间形成金属收集腔;导流片底部开口与金属收集管体顶部开口的内壁连接,导流片在远离金属收集管体的方向上的管径逐渐减少,形成朝向环形开口的导流斜坡;金属收集管体和或导流片的外壁设置紧固组件,通过紧固组件使导流片顶部开口与靶材外壁之间密封贴合设置。本发明绑定金属收集装置及收集方法提高了绑定金属的利用率,可以防止人员的烫伤,提高工作效率。
本发明授权一种绑定金属收集装置及收集方法在权利要求书中公布了:1.一种绑定金属收集装置,其特征在于,所述绑定金属收集装置包括金属收集管体和导流片,所述金属收集管体和导流片均为套设在靶材外壁、两端开口的管状结构; 所述金属收集管体顶部设置环形开口,金属收集管体底部、金属收集管体内壁、金属收集管体外壁之间形成金属收集腔; 所述导流片底部开口与金属收集管体顶部开口的内壁连接,所述导流片在远离金属收集管体的方向上的管径逐渐减少,形成朝向环形开口的导流斜坡; 所述金属收集管体和或导流片的外壁设置紧固组件,通过紧固组件使导流片顶部开口与靶材外壁之间密封贴合设置。
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