先导薄膜材料(广东)有限公司顾德盛获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种氧化铟铈钽钛钬靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117144310B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311193722.9，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种氧化铟铈钽钛钬靶材及其制备方法是由顾德盛;邵学亮;李开杰;张兴宇;罗斯诗设计研发完成，并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化铟铈钽钛钬靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及靶材生产技术领域，公开了一种氧化铟铈钽钛钬靶材，靶材中铟、铈、钽、钛、钬的摩尔比为：66.3～71.8：0.058～1.163：0.045～0.905：0.125～2.5：0.053～1.058。该靶材采用铟为主材，采用三价、四价、五价金属进行掺杂，得到的靶材具有较高硬度、较大电子迁移率和载流子浓度的特性。同上，本发明还公开了该靶材的制备方法。
本发明授权一种氧化铟铈钽钛钬靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化铟铈钽钛钬靶材，其特征在于，靶材中铟、铈、钽、钛、钬的摩尔比为：66.3～71.1：0.232～1.163：0.136～0.905：0.625～2.5：0.053～1.058； 所述氧化铟铈钽钛钬靶材的制备方法具体为：将氧化铟粉末、氧化铈粉末、氧化钽粉末、氧化钛粉末和氧化钬粉末于水中分散、研磨并干燥后得到混合粉末；将混合粉末经过模压和冷等静压处理后加热脱脂、烧结即可； 所述混合粉末的制备方法具体为： 步骤1：将氧化铈粉末、氧化钽粉末、氧化钛粉末和氧化钬粉末加入到含有第一分散剂的纯水中，得到浆料一； 步骤2：将浆料一用气动隔膜泵打入砂磨机中进行研磨，得到浆料二； 步骤3：将氧化铟粉末、第二分散剂加入到浆料二中，得到浆料三； 步骤4：将浆料三用气动隔膜泵打入砂磨机中进行研磨，得到浆料四； 步骤5：向浆料四中加入粘结剂，混合后用气动隔膜泵将浆料打入砂磨机进行研磨后得到浆料五； 步骤6：将浆料五打入并流式喷雾干燥塔，进行喷雾造粒，再进行混料和筛分，得到混合粉末。
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