江苏微导纳米科技股份有限公司杨德赞获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种装置和加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117127167B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210551851.X，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种装置和加工方法是由杨德赞;周仁;荒见淳一;吴飚设计研发完成，并于2022-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种装置和加工方法在说明书摘要公布了：本公开涉及一种装置和加工方法。在各实施例中，一种装置包括：第一喷淋板，其经配置以输入第一反应气体和第二反应气体；第一匀气板，其经配置以将所述第二反应气体分配至第二气体第一分配区以及与所述第二气体第一分配区连通的第二气体第二分配区；第二匀气板，其经配置以将所述第一反应气体分配至第一气体第一分配区以及与所述第一气体第一分配区连通的第一气体第二分配区；以及第二喷淋板，其经配置以输出所述第一反应气体和所述第二反应气体。
本发明授权一种装置和加工方法在权利要求书中公布了：1.一种装置，包括： 第一喷淋板，其经配置以输入第一反应气体和第二反应气体； 第一匀气板，其经配置以将所述第二反应气体分配至第二气体第一分配区以及与所述第二气体第一分配区经由多个第一匀气板通孔连通的第二气体第二分配区； 第二匀气板，其经配置以将所述第一反应气体分配至第一气体第一分配区以及与所述第一气体第一分配区经由位于所述第二匀气板边缘的多个第二匀气板通孔连通的第一气体第二分配区；以及 第二喷淋板，其经配置以输出所述第一反应气体和所述第二反应气体。
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