先导薄膜材料(广东)有限公司苏紫珊获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种铝铜钪合金靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117051278B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311187596.6，技术领域涉及：C22C1/02；该发明授权一种铝铜钪合金靶材及其制备方法是由苏紫珊;蔡新志;童培云;毛远兴设计研发完成，并于2023-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铝铜钪合金靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及靶材生产技术领域，公开了一种铝铜钪合金靶材的制备方法，该方法先将铝源、铜源、钪源真空熔炼，随后浇铸、冷却，得到熔铸铸锭；再对熔铸铸锭顶端缩孔测深、切割、锻打，得到靶坯；随后对靶坯热轧，得到热轧后的靶坯；最后对热轧后的靶坯打磨、切割、并与无氧铜背板绑定，得到铝铜钪合金靶材，该方法通过对浇铸温度、锻打形状的优化，有效地降低了靶坯的内部缩孔情况，进而提升了靶材的表面质量，此外本申请还公开了一种铝铜钪合金靶材。
本发明授权一种铝铜钪合金靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种铝铜钪合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤1：将铝源、铜源、钪源真空熔炼，升温至第一温度采用漏斗进行浇铸、冷却，得到熔铸铸锭；所述熔铸铸锭在水平面的投影为方形或矩形； 步骤2：对步骤1得到的熔铸铸锭在第二温度进行锻打，得到靶坯；所述靶坯在水平面的投影为圆形； 步骤3：对步骤2制得的靶坯热轧，得到铝铜钪合金靶材； 所述第一温度为925±5℃； 所述第二温度为600±5℃； 熔铸铸锭的底面积和靶坯的底面积的比值为1：1.3～1.6； 所述铝铜钪合金靶材中铜的摩尔百分比含量为1～5%，钪的摩尔百分比含量为0.1～1%。
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