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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种氧化锌靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117049869B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311012658.X，技术领域涉及：C04B35/453；该发明授权一种氧化锌靶材及其制备方法是由余芳;朱刘;童培云设计研发完成，并于2023-08-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种氧化锌靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及靶材生产技术领域，公开了一种氧化锌靶材的制备方法，该方法通过将粒径为1～3微米的小颗粒氧化锌与粒径为3～5微米的大颗粒氧化锌按1.5～4：1的质量比混合，得到混合后的氧化锌物料；再将混合后的氧化锌物料真空热压，得到热压毛坯；最后将热压毛坯烧结，得到氧化锌靶材，由该制备方法制得的氧化锌靶材，不仅具有较高的相对密度，同时在制备过程中，通过对各项参数的调整，我们惊喜地发现当各参数为一特定值时，对相对密度的提升最为明显。

本发明授权一种氧化锌靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化锌靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1：将粒径为1～3微米的小颗粒氧化锌与粒径为3～5微米且不包括3微米的大颗粒氧化锌按1.5～4：1的质量比混合，得到混合后的氧化锌物料； 步骤2具体包括以下步骤： 步骤A1：将混合后的氧化锌物料放入真空热压炉中，随后将真空热压炉的真空度抽至5Pa； 步骤A2：开启加热，以2～10℃min的升温速率升温至900～950℃，随后保温10～50min，随后加压至45～70MPa，加压后保温保压60～100min； 步骤A3：保温保压结束后，以6～8℃min的降温速率将真空热压炉降至室温，开炉、脱模后，得到热压毛坯； 当小颗粒氧化锌与大颗粒氧化锌的质量比为3～4：1且不包括3：1时； 步骤A2具体为：以6～10℃min的升温速率升温至900～950℃，随后保温10～50min，随后加压至45～60MPa，加压后保温保压60～100min； 当小颗粒氧化锌与大颗粒氧化锌的质量比为1.5～3：1时； 步骤A2具体为：以2～6℃min的升温速率升温至900～950℃，随后保温10～50min，随后加压至60～70MPa，加压后保温保压60～100min； 步骤3具体包括以下步骤： 步骤B1：将步骤A3制得的热压毛坯放入气氛烧结炉中烧结，烧结气氛为空气，开启加热后，先以1～3℃min升温至1250～1300℃，随后保温24～48小时； 步骤B2：待保温结束后，将热压毛坯随炉冷却至室温，得到氧化锌靶材。

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