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龙图腾网获悉内江师范学院;四川博康达智能电子系统有限公司申请的专利一种透光微机电超声换能器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117000571B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311139615.8，技术领域涉及：B06B1/02；该发明授权一种透光微机电超声换能器及其制备方法是由余远昱;魏丽君;王久江;张双;徐晶设计研发完成，并于2023-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种透光微机电超声换能器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种透光微机电超声换能器及其制备方法，涉及超声换能器领域，方法主要包括在透光基底上沉积公共底电极；在公共底电极上旋涂光敏聚合物并曝光显影，形成具有空腔结构和支撑结构的光敏聚合物透光基底晶圆；使用键合机，利用晶圆黏附层键合技术，将光敏聚合物透光基底晶圆与正反面均沉积有低应力氮化硅薄膜的硅晶圆键合固化，得到键合固化晶圆；使用干湿刻蚀方法去除位于键合固化晶圆外表面的低应力氮化硅薄膜及硅晶圆，保留位于键合固化晶圆内部的低应力氮化硅薄膜，并在保留的薄膜上沉积公共顶电极和金属层，以使得到的金属导线贯穿公共顶电极。本发明具有可透光、不会阻挡光路的优点，同时具备较大的相对带宽。

本发明授权一种透光微机电超声换能器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种透光微机电超声换能器，其特征在于，包括依次按照阵列形式设置的多个透光CMUT阵元；所述透光CMUT阵元包括公共顶电极、透光基底、设置在所述透光基底上的公共底电极、以及设置在所述公共顶电极与所述公共底电极之间的多个透光CMUT单元，且所述透光CMUT阵元内的透光CMUT单元通过所述公共顶电极和所述公共底电极实现电气并联；所述透光CMUT单元包括多个不同尺寸不同形状的透光腔体；所述透光腔体的形状为圆形、矩形或者多边形；其中，所述透光CMUT阵元是基于微机电工艺制备而成； 所述透光CMUT阵元还包括从所述公共顶电极中引出的金属导线、与所述金属导线连接的公共顶电极焊盘、以及连接所述公共底电极的公共底电极焊盘；其中，所述金属导线贯穿所述公共顶电极； 所述透光腔体包括设置在所述公共底电极上的空腔结构、设置在所述公共底电极上且位于所述空腔结构四周的支撑结构、设置在所述空腔结构上且能够覆盖所述空腔结构和所述支撑结构的振动薄膜； 其中，所述公共底电极、所述空腔结构、所述支撑结构、所述振动薄膜以及所述公共顶电极均是由透光材料制备而成。

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