应用材料公司西蒙·刘获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利基板支撑件、处理基板的方法、以及处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116917533B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180094198.2，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权基板支撑件、处理基板的方法、以及处理系统是由西蒙·刘;托比亚斯·伯格曼;梅兰·贝德亚特;李明宗;蒋弘晖设计研发完成，并于2021-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板支撑件、处理基板的方法、以及处理系统在说明书摘要公布了：描述了一种用于在真空处理系统中支撑基板的基板支撑件。所述基板支撑件包括：基板支撑主体，所述基板支撑主体具有用于支撑所述基板的前侧和与所述前侧相对的背侧；吸盘组件，所述吸盘组件在所述基板支撑主体中或在所述基板支撑主体的所述背侧处；多个第一开口，所述多个第一开口在所述前侧中，所述多个第一开口与气体导管流体连通；多个第二开口，所述多个第二开口穿过所述基板支撑主体，被配置用于在装载或卸载期间支撑所述基板的多个升降销；多个第一突出部，所述多个第一突出部在所述前侧上，每个第一突出部至少部分地包围所述多个第二开口中的第二开口；以及多个第二突出部，所述多个第二突出部在所述前侧上，被配置用于温度测量。
本发明授权基板支撑件、处理基板的方法、以及处理系统在权利要求书中公布了：1.一种用于在真空处理系统中支撑基板的基板支撑件，所述基板支撑件包括： 基板支撑主体，所述基板支撑主体具有用于支撑所述基板的前侧和与所述前侧相对的背侧； 吸盘组件，所述吸盘组件在所述基板支撑主体中或在所述基板支撑主体的所述背侧处； 多个第一开口，所述多个第一开口在所述前侧中，所述多个第一开口与气体导管流体连通； 多个第二开口，所述多个第二开口穿过所述基板支撑主体，被配置用于在装载或卸载期间支撑所述基板的多个升降销； 多个第一突出部，所述多个第一突出部在所述前侧上，每个第一突出部至少部分地包围所述多个第二开口中的第二开口，其中所述多个第一突出部被配置为提供用于冷却气体的屏障，以防止所述冷却气体流过所述基板支撑件；以及 多个第二突出部，所述多个第二突出部在所述前侧上，被配置用于温度测量。
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