东京毅力科创株式会社美浓谷惠太获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利沉积状态监视方法和基片处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116892019B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310347579.8，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权沉积状态监视方法和基片处理装置是由美浓谷惠太设计研发完成，并于2023-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积状态监视方法和基片处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供能够早期且容易地推测泵的沉积状态的沉积状态监视方法和基片处理装置。沉积状态监视方法监视沉积在与处理基片的基片处理装置的处理容器连接的泵的沉积物的沉积状态。沉积状态监视方法包括：获取使泵的旋转构造体旋转的电机的电流值的步骤；通过对处理容器供给处理气体，在电流值的时间变化中使衰减波形产生的步骤；获取构成衰减波形的多个波峰部的顶峰电流值和与多个波峰部相同数量的波谷部的谷底电流值的步骤；通过取获取到的多个波峰部的顶峰电流值与多个波谷部的谷底电流值的平均，来计算衰减波形收敛的推测收敛电流值的步骤；以及基于推测收敛电流值，来推测沉积物的沉积状态的步骤。
本发明授权沉积状态监视方法和基片处理装置在权利要求书中公布了：1.一种沉积状态监视方法，其特征在于： 所述沉积状态监视方法监视沉积在与处理基片的基片处理装置的处理容器连接的泵的沉积物的沉积状态，包括： 步骤a，获取使所述泵的旋转构造体旋转的电机的电流值； 步骤b，通过对所述处理容器供给处理气体，在所述电流值的时间变化中使衰减波形产生； 步骤c，在所述衰减波形收敛之前的期间中，获取构成所述衰减波形的多个波峰部的顶峰电流值和与多个所述波峰部相同数量的波谷部的谷底电流值； 步骤d，通过取获取到的多个所述波峰部的顶峰电流值与多个所述波谷部的谷底电流值的平均，来在所述衰减波形收敛之前，计算所述衰减波形收敛后的推测收敛电流值；以及 步骤e，基于所述推测收敛电流值，来推测所述沉积物的沉积状态。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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