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龙图腾网获悉南京航空航天大学申请的专利基于光信号与电信号的微/纳谐振器振动测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116625486B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310574046.3，技术领域涉及：G01H11/06；该发明授权基于光信号与电信号的微/纳谐振器振动测量方法是由刘汝盟;刘鑫杰;王立峰设计研发完成，并于2023-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于光信号与电信号的微/纳谐振器振动测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于光信号与电信号的微纳谐振器振动测量方法，步骤如下：设计和制备带有激励电极和检测电极的微纳谐振器；在激励电极上施加交流电压对微纳谐振器进行激励，分析得到微纳谐振器的振动信息；对比基于光信号和电信号得到的频谱图，分析得到微纳谐振器振动固有频率，对振动固有频率进行单频激励后得到清晰的振动模态图。本发明实现了在微小激励条件下高精度测量微纳谐振器振动频谱图的同时，对振型进行观测。

本发明授权基于光信号与电信号的微/纳谐振器振动测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于光信号与电信号的微纳谐振器振动测量方法，其特征在于，步骤如下： 1设计和制备带有激励电极和检测电极的微纳谐振器； 2在激励电极上施加交流电压对微纳谐振器进行激励，使用激光多普勒测振仪检测其振动信号的同时，在检测电极的一端施加与激励电极上施加的交流电压存在频率差的交流电压，并测量该电压通过微纳谐振器后得到的电流信号，分析得到微纳谐振器的振动信息； 3对比基于光信号和电信号得到的频谱图，分析得到微纳谐振器振动固有频率，对振动固有频率进行单频激励后得到清晰的振动模态图； 所述步骤2具体包括：在激励电极上施加频率为ω的交流电压激励微纳谐振器，使用激光多普勒测振仪通过激光多普勒效应及光外差干涉检测其振动；当微纳谐振器在交流电压的激励下以频率ω振动时，其与激励电极之间的电容发生周期性变化，在微纳谐振器上产生周期性变化的电荷；使得其载流子浓度做周期性变化，得到电导也随之做周期性变化；将微纳谐振器作为混频器，在检测电极一端施加一个频率为ω+Δω的交流电压，经过混频后得到包含振动信息的频率为Δω的交流电流，通过阻抗放大器转变为电压信号后输入参考信号为Δω的锁相放大器进行检测，得到微纳谐振器的振动信息。

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