江南大学林良良获国家专利权
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龙图腾网获悉江南大学申请的专利定位制备InAs纳米线阵列的装置及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116575018B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310426974.5,技术领域涉及:C23C18/44;该发明授权定位制备InAs纳米线阵列的装置及制备方法是由林良良;张孜弈设计研发完成,并于2023-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本定位制备InAs纳米线阵列的装置及制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种定位制备InAs纳米线阵列的装置及制备方法,将可控的二维移动装置与限域直流放电相结合,通过控制装置移速、前驱体流速以及气速,能够实现在基板上沉积不同排列间隙及尺寸的贵金属纳米催化剂阵列;实现对InAs纳米线间距的精细控制。本发明相较于常规的溶液制备催化剂方法,步骤更为精简,将催化剂直接通过电流打印在基底上,加快了反应速度,避免使用化学还原剂;本发明还能够通过控制参数来控制催化剂颗粒大小,进而控制反应速率、纳米线成品粗细;本发明制备的催化剂颗粒带有电荷,在静电排斥作用下阻止催化物聚集,保障催化物的均一性,进而保证纳米线成品的纯度和陈列形状。
本发明授权定位制备InAs纳米线阵列的装置及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种定位制备InAs纳米线阵列的装置,包括反应炉,其特征在于:反应炉内放置有基板9、金属板11和反应粉末; 所述反应炉上连接有: 供气组件,包括氢气瓶13、氩气瓶14,氢气瓶13和氩气瓶14上均设有引至反应炉中的管路, 注射泵1,其输出端连接至反应炉中, 移动装置6,包括位于反应炉两侧的支架,两支架之间连接有中心滑动横梁;每个支架和中心滑动横梁上均安装有步进电机及限位开关,步进电机、限位开关连接至控制主板4上;中心滑动横梁上设有电极10,电极10指向反应炉内的基板9;电极10与注射泵1、供气组件的管路连通, 供电组件,包括直流电源2和交流电源3,直流电连接至放电的电极10处,用于打印催化剂;交流电连接至金属板11处,用于引发和促进InAs纳米线生长, 所述金属板11设置于反应炉的两侧石英外壁上。
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