买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉杭州电子科技大学申请的专利一种抗惯性环境干扰的多维力MEMS传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116296026B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310117112.4，技术领域涉及：G01L5/165；该发明授权一种抗惯性环境干扰的多维力MEMS传感器是由董林玺;武家澍;黄一马;刘超然;杨伟煌;颜海霞设计研发完成，并于2023-02-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抗惯性环境干扰的多维力MEMS传感器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种抗惯性环境干扰的多维力MEMS传感器。它包括基板、六轴力传感器和加速度计，所述的六轴力传感器为电容式测量原理，当受到外部力信号时，传感器的梳齿电容极板对之间的间距发生变化，从而改变电容值，最终反映力信号的大小。所述的加速度计亦为电容式测量原理，本发明利用所述加速度计的测量结果去校正六轴力传感器受到惯性作用时产生的干扰信号，经过校正后最终的结果即为消除了动态环境中惯性干扰的测量结果，从而实现精确测量。

本发明授权一种抗惯性环境干扰的多维力MEMS传感器在权利要求书中公布了：1.一种抗惯性环境干扰的多维力MEMS传感器，包括基板、六轴力传感器和加速度计，所述的六轴力传感器为电容式测量原理，当受到外部力信号时，传感器的梳齿电容极板对之间的间距发生变化，从而改变电容值，最终反映力信号的大小； 所述的加速度计亦为电容式测量原理，当受到X、Y方向上的加速度影响时，加速度计的X、Y轴方向梳齿电容极板对之间的间距发生变化，从而对应方向上的电容值发生变化；当受到Z方向上的加速度影响时，加速度计的梳齿电容极板对之间正对面积发生变化，从而对应方向上的电容值发生变化； 利用所述加速度计的测量结果去校正六轴力传感器受到惯性作用时产生的干扰信号， 经过校正后最终的结果即为消除了动态环境中惯性干扰的测量结果，从而实现精确测量； 所述的六轴力传感器包括中央凸台、可动主板、Z轴极板、可动梳齿、固定梳齿、固定梳齿上电极、U型梁、外围固定梁、外围固定梁上电极、玻璃板、玻璃板上电极； 中央凸台位于可动主板中心，四块Z轴极板与可动主板连接，分别位于可动主板的45°、135°、225°以及315°方向；可动梳齿与可动主板连接，可动主板的每个侧面上连接有两个可动梳齿，总共连接8个可动梳齿，每个可动梳齿上又均匀分布着15对梳齿，位于同一侧面上的两个可动梳齿具有着一定的间距； 所述固定梳齿被键合在玻璃板上，共8个，且相互独立，每个固定梳齿上靠近外围固定梁的区域都有固定梳齿上电极覆盖；每一个可动梳齿都位于固定梳齿的空隙中，并且固定梳齿与可动梳齿互不接触，每一块可动梳齿与相邻的固定梳齿都有相同固定初始间距； 所述外围固定梁位于六轴力传感器最外部，被键合在玻璃板上，且外围固定梁与可动主板由U型梁作为媒介连接，U型梁分别位于可动主板的正右、正下、正左、正上方，共4个；在每个U型梁与外围固定梁的连接部分的上表面均被外围固定梁上电极覆盖； 所述外部固定梁底部与玻璃板上表面键合，所述固定梳齿底部与玻璃板上表面键合，所述玻璃板与基板键合，所述中央凸台、可动主板、Z轴极板、可动梳齿、外围固定梁上电极、U型梁均不与玻璃板上表面接触，被悬空。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州电子科技大学，其通讯地址为：310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。