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青岛融合微电子科技有限公司朱帅获国家专利权

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龙图腾网获悉青岛融合微电子科技有限公司申请的专利一种倒装LED芯片及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116207211B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310149022.3,技术领域涉及:H10H20/857;该发明授权一种倒装LED芯片及其制备方法是由朱帅;康志杰设计研发完成,并于2023-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种倒装LED芯片及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种倒装LED芯片及其制备方法,属于倒装LED芯片技术领域。其技术方案为:对圆晶基底进行光刻与刻蚀,形成N电极导电平台;ITO层的蒸镀与退火;DBR层的沉积,再通过光刻工艺形成第一通道;PAD层的蒸镀。本发明的倒装LED芯片的制备方法缩短了制程时间,提高芯片产出效率,并节省物料。新的固晶方式提高了固晶成功率及固晶产出,降本提效。

本发明授权一种倒装LED芯片及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种倒装LED芯片的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1对晶圆基底进行清洗,圆晶基底包括蓝宝石、N-GaN外延层、发光层和P-GaN外延层; S2在P-GaN外延层上涂上正性光刻胶,经曝光、显影去除掉P-GaN外延层四周的正性光刻胶; S3通过干法刻蚀的方法,将暴露出的P-GaN外延层及其下方的发光层和部分N-GaN外延层去除,随后去掉剩余的正性光刻胶,形成N电极导电平台; S4在步骤S3得到的半成品的上表面进行ITO层的蒸镀与退火; S5在ITO层上涂上正性光刻胶,经曝光、显影去除掉ITO层四周的正性光刻胶; S6通过湿法腐蚀的方法,将暴露出的ITO层去除,露出下方的P-GaN外延层,随后去掉剩余的正性光刻胶; S7在步骤S6得到的半成品的上表面沉积DBR层; S8在DBR层上涂上正性光刻胶,经曝光、显影去除掉DBR层上位于ITO层中心处以及绕N电极导电平台一圈的正性光刻胶,使去掉正性光刻胶的位置形成回字形; S9通过干法刻蚀的方法,将暴露出的DBR层去除,形成与ITO层和N-GaN外延层接触的第一通道,随后去掉剩余的正性光刻胶; S10在步骤S9得到的半成品的上表面涂上负性光刻胶,经曝光、显影去除掉第一通道上的负性光刻胶; S11在步骤S10得到的半成品的上表面蒸镀PAD层,随后剥离掉负性光刻胶,从而在第一通道上镀上PAD层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人青岛融合微电子科技有限公司,其通讯地址为:266000 山东省青岛市黄岛区王台街道王台东路187号2216-2室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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