株式会社日立高新技术荫谷竜吾获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利图案检查/测量装置、图案检查/测量程序产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115698627B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080101151.X，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权图案检查/测量装置、图案检查/测量程序产品是由荫谷竜吾;深谷郁;新藤博之设计研发完成，并于2020-05-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本图案检查/测量装置、图案检查/测量程序产品在说明书摘要公布了：本公开的目的在于，提供能精度良好地确定形成于样品上的拐角点的图案检查测量装置。本公开所涉及的图案检查测量装置在设计数据上确定拐角点的对作为拐角对候补，按照设计数据上的所述拐角对候补与实际形成的形状图案中的所述拐角对候补之间的相对关系，来确定所述形状图案上的拐角点参考图13。
本发明授权图案检查/测量装置、图案检查/测量程序产品在权利要求书中公布了：1.一种图案检查测量装置，检查或测量形成于样品上的形状图案，其特征在于， 具备：计算机系统，其从对所述形状图案摄像而得到的图像检测包含所述形状图案当中的拐角点的拐角图案， 所述计算机系统从所述形状图案的设计数据取得所述拐角图案的坐标和形状， 所述计算机系统基于从所述设计数据取得的所述拐角图案的坐标和形状来确定彼此间的距离为给定距离以内的2个所述拐角点，作为拐角对候补， 所述计算机系统按照形成所述拐角对候补的所述形状图案的位置与所述设计数据上的所述拐角对候补的位置之间的相对关系，来确定形成所述拐角对候补的所述形状图案上的2个拐角点的坐标， 所述计算机系统提取形成通过将线段连接而构成的封闭区域的1个所述拐角图案当中的除了相邻的拐角点以外的2个拐角点，作为所述1个拐角图案所具有的内部拐角点对， 所述计算机系统确定所提取的所述内部拐角点对，作为所述拐角对候补。
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