海克斯康制造智能技术(青岛)有限公司郭旭获国家专利权
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龙图腾网获悉海克斯康制造智能技术(青岛)有限公司申请的专利一种基于大长度校准装置的补偿方法及补偿装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115655114B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211430099.X,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权一种基于大长度校准装置的补偿方法及补偿装置是由郭旭;郝健设计研发完成,并于2022-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于大长度校准装置的补偿方法及补偿装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于大长度校准装置的补偿方法及补偿装置,该补偿方法包括:设定大长度校准装置的补偿基准点;利用如下公式实时获取大长度校准装置的测量数值L:L=Llaserlaser+dz*RXYXY+dy*RXZXZ;其中,Llaserlaser为激光干涉仪实时显示数值,dy和dz分别为激光干涉仪的靶标和被校准设备的靶标之间在Y向和Z向的距离,RXYXY和RXZXZ为大长度校准装置的活动台相对补偿基准点的角度误差;采用测量数值L对被校准设备的测量值进行补偿。本发明解决现有技术中大长度校准装置中多台激光干涉仪补偿过程复杂、效率低且成本高的问题。
本发明授权一种基于大长度校准装置的补偿方法及补偿装置在权利要求书中公布了:1.一种基于大长度校准装置的补偿方法,其特征在于,包括: S1:设定所述大长度校准装置的补偿基准点,其中,所述大长度校准装置的长度方向定义为X向; S2:利用如下公式实时获取所述大长度校准装置的测量数值L: L=Llaser+dz*RXY+dy*RXZ; 其中,Llaser为激光干涉仪实时显示数值,dy和dz分别为所述激光干涉仪的靶标和被校准设备的靶标之间在Y向和Z向的距离,RXY和RXZ为所述大长度校准装置的活动台所在当前位置相对所述补偿基准点的补偿角度误差,所述激光干涉仪预先获取每个步距处相对所述补偿基准点的一组角度误差,形成多步距对应的多组角度误差,其中,所述大长度校准装置的长度被划分为多步距;补偿角度误差具体为: 在所述活动台所在当前位置位于各步距处,各步距对应的角度误差作为所述补偿角度误差; 在所述活动台所在当前位置位于相邻步距之间的位置时,基于所述活动台所在当前位置及各步距对应的角度误差,采用插值法,获取相邻步距之间的位置相对所述补偿基准点的角度误差,作为所述补偿角度误差; S3:采用测量数值L对被校准设备的测量值进行补偿,包括: S31:获取所述被校准设备的误差E=L示值-L,L示值为所述被校准设备实时显示的测量值; S32:采用所述误差E补偿所述被校准设备的测量值; 其中,所述激光干涉仪的靶标和被校准设备的靶标均置于所述活动台上。
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