西实显示高新材料(沈阳)有限公司赵成伟获国家专利权
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龙图腾网获悉西实显示高新材料(沈阳)有限公司申请的专利大尺寸ICP供气模组与ICP设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115547804B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211212108.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权大尺寸ICP供气模组与ICP设备是由赵成伟;邬文波设计研发完成，并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本大尺寸ICP供气模组与ICP设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种大尺寸ICP供气模组与ICP设备。大尺寸ICP供气模组包括供气模块与区域供气管。供气模块用于环形设置于线圈周侧，供气模块包括多个供气分块，供气分块具有供气通道，供气通道具有出气口，多个供气分块首尾可拆卸连接；供气模块包括多个供气区域，供气区域内设置有至少一个供气分块。区域供气管的数量与供气区域的数量相同，且一一对应，区域供气管用于向对应供气区域内的所有供气分块供气。将大尺寸供气模块转化为小尺寸的供气分块，可以降低制作成本且提高供气分块的通用性。通过调节不同的区域供气管实现对供气气体的调控，从而即时调控供气气体的均匀性，从而提高膜层质量。
本发明授权大尺寸ICP供气模组与ICP设备在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸ICP供气模组，其特征在于，包括： 供气模块，沿线圈周侧环形设置，所述供气模块包括多个供气分块，所述供气分块具有供气通道，所述供气通道具有出气口，所述出气口朝向所述线圈的方向，多个所述供气分块首尾可拆卸连接；所述供气模块包括多个供气区域，所述供气区域内设置有至少一个所述供气分块；所述供气分块包括两个可拆卸设置的板体，两个所述板体均设置有供气槽，当两个所述板体连接时，所述两个板体上的两个所述供气槽对齐以形成所述供气通道； 区域供气管，所述区域供气管的数量与所述供气区域的数量相同，且一一对应，所述区域供气管用于向对应的所述供气区域内的所有的所述供气分块供气。
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