北京华卓精科科技股份有限公司范玉娇获国家专利权
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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利激光干涉仪测距误差抑制系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115451828B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211003233.8,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权激光干涉仪测距误差抑制系统及方法是由范玉娇;杨月舳;张翔宇;韩昱设计研发完成,并于2022-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光干涉仪测距误差抑制系统及方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种激光干涉仪测距误差抑制系统及方法,其中的系统包括,激光发射模块、干涉测距模块、波长跟踪模块、分光模块以及信号处理模块;其中,所述激光发射模块发射的激光经所述分光模块分光后的反射光进入所述波长跟踪模块形成第一测量信号,经所述分光模块分光后的透射光通过所述干涉测距模块形成第二测量信号,所述信号处理模块通过所述第一测量信号以及所述第二测量信号对所述干涉测距模块进行误差抑制。本发明提供的激光干涉仪测距误差抑制系统及方法能够有效降低激光干涉仪的折射率误差。
本发明授权激光干涉仪测距误差抑制系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种激光干涉仪测距误差抑制系统,其特征在于,包括激光发射模块、干涉测距模块、波长跟踪模块、分光模块以及信号处理模块;其中, 所述激光发射模块发射的激光经所述分光模块分光后的反射光进入所述波长跟踪模块形成第一测量信号,经所述分光模块分光后的透射光通过所述干涉测距模块形成第二测量信号,所述信号处理模块通过所述第一测量信号以及所述第二测量信号对所述干涉测距模块进行误差抑制;其中, 所述激光干涉仪测距误差抑制系统还包括与所述干涉测距模块位置对应的反射模块,所述透射光进入所述干涉测距模块的出光经所述反射模块反射后产生所述第二测量信号,所述第二测量信号为所述干涉测距模块与所述反射模块之间的距离测量信号,所述反射模块设置在预设运动台上;并且,所述反射模块与所述干涉测距模块之间的距离基于预设伺服周期通过所述预设运动台进行调整,通过多次调整所述反射模块与所述干涉测距模块之间的距离,形成n组第一测量信号和第二测量信号,其中,n为整数,n≥10; 所述信号处理模块分别获取各组的第一测量信号的数据值c和第二测量信号的数据值d; 将各组的数据值c与数据值d做线性拟合,以得到n个拟合系数A=[A1,A2,…,An]; 将预设的实际距离数据X=[x1,x2,…,xn]与A做线性拟合以得到拟合方程A=fX; 基于所述拟合方程A=fX,得到所述干涉测距模块的测量距离优化数据值d1=d-fXc。
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