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中国科学院微电子研究所于中尧获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利FCBGA基板的半加成工艺方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115361795B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211022518.6,技术领域涉及:H05K3/10;该发明授权FCBGA基板的半加成工艺方法是由于中尧;杨芳设计研发完成,并于2022-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。

FCBGA基板的半加成工艺方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种FCBGA基板的半加成工艺方法,涉及封装基板制造技术领域。该方法包括:步骤S1,在封装基板的内层线路表面,依次压合ABF层和铜箔;步骤S2,将压合后的ABF层置于烘箱中烘烤,以完成预固化;步骤S3,对预固化的ABF层进行真空加温加压,使ABF层完全固化;步骤S4,去除铜箔,在完全固化的ABF层上制造外层线路;步骤S5,重复上述步骤S1~S4,形成多层线路封装基板。本发明可以解决大铜皮爆板的技术问题,保证基板的可靠性,减小工艺限制,提高设计自由度,降低工艺窗口,提高良率,以及降低基板翘曲。

本发明授权FCBGA基板的半加成工艺方法在权利要求书中公布了:1.一种FCBGA基板的半加成工艺方法,其特征在于,包括: 步骤S1,在封装基板的内层线路2表面,依次压合ABF层3和铜箔4; 步骤S2,将压合后的ABF层3置于烘箱中烘烤,以完成预固化; 步骤S3,对预固化的ABF层3进行真空加温加压,使所述ABF层3完全固化; 步骤S4,去除所述铜箔4,在完全固化的ABF层3上制造外层线路9包括: 步骤S41,对所述完全固化的ABF层3和铜箔4进行激光钻孔,使ABF层3和铜箔4中形成与所述内层线路2连通的盲孔5; 步骤S42,去除激光钻孔残留胶渣; 步骤S43,去除表面铜箔4; 步骤S44,在所述ABF层3和所述盲孔5中化学镀铜,形成电镀种子层6; 步骤S45,在所述电镀种子层6上光刻形成图形电镀掩膜7; 步骤S46,在所述电镀种子层6中未被所述图形电镀掩膜7覆盖的区域电镀形成电路图形8并填充所述盲孔5; 步骤S47,去除所述图形电镀掩膜7; 步骤S48,去除所述图形电镀掩膜7覆盖的所述电镀种子层6,形成所述外层线路9; 步骤S5,重复上述步骤S1~S4,形成多层线路封装基板。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院微电子研究所,其通讯地址为:100029 北京市朝阳区北土城西路3号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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