固赢科技(深圳)有限公司刘力获国家专利权
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龙图腾网获悉固赢科技(深圳)有限公司申请的专利带阻抗测量的电源及其控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115308491B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210749455.8,技术领域涉及:G01R27/08;该发明授权带阻抗测量的电源及其控制方法是由刘力;张小彬;黄璞;李旺鹏设计研发完成,并于2022-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本带阻抗测量的电源及其控制方法在说明书摘要公布了:本申请是关于一种带阻抗测量的电源及其控制方法。该电源包括:系统控制单元、功率电路模块以及阻抗测量模块;功率电路模块和阻抗测量模块的输出端分别与载具的输入电极连接;系统控制单元分别与功率电路模块以及阻抗测量模块电连接,系统控制单元用于根据接收的控制指令控制功率电路模块以及阻抗测量模块与输入电极之间的通断状态。本申请提供的方案,能够实现载具阻抗的监测,确保载具在最佳的阻抗状态,提升沉积工艺的效率,提高工艺操作人员的安全性,确保沉积工艺的质量。
本发明授权带阻抗测量的电源及其控制方法在权利要求书中公布了:1.一种带阻抗测量的电源,其特征在于,包括: 系统控制单元、功率电路模块以及阻抗测量模块; 所述功率电路模块和所述阻抗测量模块的输出端分别与载具的输入电极连接; 所述系统控制单元分别与所述功率电路模块以及所述阻抗测量模块电连接,所述系统控制单元用于根据接收的控制指令控制所述功率电路模块以及所述阻抗测量模块与所述输入电极之间的通断状态; 所述带阻抗测量的电源还包括:第一双路双切开关和第二双路双切开关;所述第一双路双切开关包含开关S1和开关S2;所述第二双路双切开关包含开关S3和开关S4; 所述第一双路双切开关设置于所述功率电路模块和所述输入电极之间,用于控制所述功率电路模块与所述输入电极之间的通断; 所述第二双路双切开关设置于所述阻抗测量模块和所述输入电极之间,用于控制所述阻抗测量模块与所述输入电极之间的通断。
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