无锡松煜科技有限公司陈庆敏获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉无锡松煜科技有限公司申请的专利一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115274924B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210856593.6，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法是由陈庆敏;李丙科;张海洋设计研发完成，并于2022-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法，在工艺腔内的进气方式采用炉尾进气，炉口抽气的方式，工艺气体流动从炉尾向炉口方向；石英舟托上依次放置舟托匀流板和石英舟，舟托匀流板上开设有若干个按顺序均匀排布的小孔，在炉腔一端内靠近进气管出气口的位置放置炉内匀流板。本发明在靠近进气管出气口的位置，放置有一个炉内匀流板，当工艺气体通过炉内匀流板时气体被打散的更均匀，可以使工艺气流与硅片接触的更均匀，同时避免了气体绕流对工艺的影响，能极大的改善扩散方阻均匀性和稳定性。
本发明授权一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法在权利要求书中公布了：1.一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法，其特征在于：在工艺腔内的进气方式采用炉尾进气，炉口抽气的方式，工艺气体流动从炉尾向炉口方向；石英舟托1上依次放置舟托匀流板2和石英舟3，舟托匀流板2上开设有若干个按顺序均匀排布的小孔，在炉腔一端内靠近进气管4出气口的位置放置炉内匀流板5； 进气方向上，舟托匀流板2与靠近进气端的第一个石英舟3之间的距离为80mm-300mm； 硅片放置时处于竖直状态，与炉口截面垂直，气流穿插式流过硅片表面； 石英舟托1包括前端板、后端板、左侧栏、右侧栏，前端板、后端板位于左侧栏和右侧栏的两端并与两个侧栏垂直连接，在前端板处和后端板处分别对应设置舟托匀流板2，舟托匀流板2与前端板、后端板方向平行； 气体依次经过炉内匀流板、靠近进气口的舟托匀流板和舟托上远离进气口一端的舟托匀流板。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡松煜科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区环普路9号11号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励