台湾积体电路制造股份有限公司廖啟宏获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利移除微粒的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114967350B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110203115.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权移除微粒的方法是由廖啟宏;施柏铭设计研发完成，并于2021-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本移除微粒的方法在说明书摘要公布了：一种移除微粒的方法，包括提供电荷至支撑座的表面上及表面的微粒上、移动清洁元件靠近表面、以及移动清洁元件远离表面。提供电荷至支撑座的表面上及表面的微粒上可使支撑座的表面和表面的微粒带有相同的负电电性。清洁元件具有静电吸附层，可使具有负电电性的微粒朝向清洁元件移动并吸附在静电吸附层上。
本发明授权移除微粒的方法在权利要求书中公布了：1.一种移除微粒的方法，其特征在于，包括： 以一喷洒电荷的方式提供一电荷至一支撑座的一表面上及该表面上的一微粒上，以使该表面和该表面上的该微粒具有相同的一负电电性； 移动一清洁元件靠近该表面，其中该清洁元件的面积与该喷洒电荷的面积相同，其中该清洁元件具有一静电吸附层，使具有该负电电性的该微粒朝向该清洁元件移动并吸附在该清洁元件的该静电吸附层上；以及 移动该清洁元件远离该表面。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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