株式会社斯库林集团胁田明日香获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置、清洗单元以及多联阀清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695188B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111586967.9，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置、清洗单元以及多联阀清洗方法是由胁田明日香;野村高幸;藤原友则;小路丸友则;东克荣设计研发完成，并于2021-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置、清洗单元以及多联阀清洗方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种有效清洗多联阀的基板处理装置、清洗单元、以及多联阀清洗方法。该基板处理装置具备：罐，其用于供给药液；多联阀，其能够选择性地供给多种处理液；以及处理液喷嘴，其使用从多联阀供给的处理液对基板进行处理，而且，能够在用于对基板进行处理的基板处理模式和至少用于清洗多联阀的清洗模式进行切换，在清洗模式下，在不经由处理液喷嘴而经由罐和多联阀的路径、即清洗路径中，从罐向多联阀供给药液。
本发明授权基板处理装置、清洗单元以及多联阀清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备： 罐，其用于供给药液； 多联阀，其被供给用于对基板进行处理的多种处理液，且能够选择性地供给多种上述处理液中的至少一个；以及 处理液喷嘴，其用于使用从上述多联阀供给的上述处理液对上述基板进行处理， 能够在用于对上述基板进行处理的基板处理模式和至少用于清洗上述多联阀的清洗模式进行切换， 在上述基板处理模式下，通过供给到上述处理液喷嘴的上述处理液对上述基板进行处理， 在上述清洗模式下，在不经由上述处理液喷嘴而经由上述罐和上述多联阀的路径即清洗路径中，从上述罐向上述多联阀供给上述药液， 在上述清洗路径中的上述罐的下游且上述多联阀的上游的位置还具备： 多个供给配管，其被供给上述药液；以及 至少一个连接配管，其以跨越的方式连接于全部多个上述供给配管。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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