西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司李凡获国家专利权
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龙图腾网获悉西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种晶舟调度方法和一种半导体热处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114420589B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111593145.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种晶舟调度方法和一种半导体热处理设备是由李凡;杨浩;杨海燕;郑建宇设计研发完成，并于2021-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶舟调度方法和一种半导体热处理设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种晶舟调度方法和一种半导体热处理设备，所述方法应用于半导体热处理设备中，所述半导体热处理设备中设置有可沿竖直方向承载多个所述晶舟的多个暂存位，所述方法包括：确定多个所述晶舟的工艺状态，其中，所述工艺状态包括：已工艺、未工艺；对于已工艺晶舟，确定其工艺完成时刻；根据多个所述晶舟的所述工艺状态以及其中已工艺晶舟的工艺完成时刻，对所述晶舟的上下位置进行调整。本发明可以在设备空闲时间段，动态调整暂存位中的晶舟的放舟位置，对暂存位中的晶舟进行排序，调整暂存位中晶舟的布局，从而减少热舟的热辐射对凉舟温度的影响，避免硅片滞留，提高产线效率。
本发明授权一种晶舟调度方法和一种半导体热处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶舟调度方法，应用于半导体热处理设备中，所述半导体热处理设备中设置有可沿竖直方向承载多个所述晶舟的多个暂存位，其特征在于，所述方法包括： 确定多个所述晶舟的工艺状态，其中，所述工艺状态包括：已工艺、未工艺； 对于已工艺晶舟，确定其工艺完成时刻； 根据多个所述晶舟的所述工艺状态以及其中已工艺晶舟的工艺完成时刻，对所述晶舟的上下位置进行调整，调整后的所述晶舟的排列顺序符合预设排列条件； 所述预设排列条件包括：未工艺晶舟位于已工艺晶舟的上方；工艺完成时刻在后的已工艺晶舟位于工艺完成时刻在先的已工艺晶舟上方。
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