西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司陈雪涛获国家专利权
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龙图腾网获悉西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种晶圆翻转控制方法和一种半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114388415B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111554471.3，技术领域涉及：H02B1/30；该发明授权一种晶圆翻转控制方法和一种半导体工艺设备是由陈雪涛设计研发完成，并于2021-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆翻转控制方法和一种半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种晶圆翻转控制方法和一种半导体工艺设备，所述方法包括：在执行工艺任务的过程中，当确定下一个调度动作为针对所述机械手的预设取放操作时，获取执行所述下一个调度动作的目标晶圆的目标传输路径；根据所述目标传输路径，获取所述目标晶圆的所述目标传输路径中的翻转信息；根据所述翻转信息，确定是否执行针对所述目标晶圆的翻转调度动作。根据本发明实施例，提供一种基于传输路径的晶圆翻转控制方法，将传输路径与晶圆翻转信息进行关联，通过灵活设置传输路径可以实现对处于同一个晶圆盒中的晶圆根据不同路径进行不同的翻转操作，增加了翻转操作的灵活性，上述方法可以减少人为操作失误，提高机台的自动化程度。
本发明授权一种晶圆翻转控制方法和一种半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翻转控制方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括机械手，所述方法包括： 在执行工艺任务的过程中，当确定下一个调度动作为针对所述机械手的预设取放操作时，获取执行所述下一个调度动作的目标晶圆的目标传输路径； 根据所述目标传输路径，获取所述目标晶圆的所述目标传输路径中的翻转信息；所述翻转信息包括不翻转，从装载模块传出后翻转，传回装载模块前翻转，以及从装载模块传出后翻转且传回装载模块前翻转中的一种；一个晶圆盒中不同传输路径的晶圆具有不同的翻转信息； 根据所述翻转信息，确定是否执行针对所述目标晶圆的翻转调度动作。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：710000 陕西省西安市高新区锦业一路11号国家服务外包示范基地D座4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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