西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司巫双获国家专利权
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龙图腾网获悉西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种工艺流程控制方法和一种晶圆清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334719B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111471059.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种工艺流程控制方法和一种晶圆清洗设备是由巫双设计研发完成，并于2021-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种工艺流程控制方法和一种晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种工艺流程控制方法和一种晶圆清洗设备，所述方法包括：在所述干燥模块完成一批次的晶圆的干燥工艺后，确定未进行干燥工艺的下一批次的晶圆的工艺处理进程信息；根据所述工艺处理进程信息确定所述干燥模块的工作负荷状态；若所述工作负荷状态为满负荷状态，则控制所述干燥模块针对所述下一批次的晶圆，执行预设工艺动作流程中除复位动作和衔接动作之外的其它工艺动作。根据本发明实施例，在干燥模块处于满负荷状态的情况下，通过合理优化干燥模块的动作流程，有效缩减干燥模块非工艺时间，提高干燥模块的利用效率，有效提高设备产能。
本发明授权一种工艺流程控制方法和一种晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种工艺流程控制方法，其特征在于，应用于晶圆清洗设备，所述晶圆清洗设备包括干燥模块，所述方法包括： 在所述干燥模块完成一批次的晶圆的干燥工艺后，确定未进行干燥工艺的下一批次的晶圆在所述干燥模块之前的最后一个工艺模块的工艺剩余时间； 确定针对复位动作和衔接动作的动作执行时间； 比较所述工艺剩余时间和所述动作执行时间，并根据比较结果确定所述干燥模块的工作负荷状态； 若所述工作负荷状态为满负荷状态，则控制所述干燥模块针对所述下一批次的晶圆，执行预设工艺动作流程中除所述复位动作和所述衔接动作之外的其它工艺动作；所述复位动作为针对所述干燥模块的复位动作；所述衔接动作为所述干燥模块与其它工艺模块之间的衔接动作。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：710000 陕西省西安市高新区锦业一路11号国家服务外包示范基地D座4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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