湖北九峰山实验室袁俊获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北九峰山实验室申请的专利一种终端结构、制作方法以及功率器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114284348B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210085312.1,技术领域涉及:H10D62/10;该发明授权一种终端结构、制作方法以及功率器件是由袁俊设计研发完成,并于2022-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种终端结构、制作方法以及功率器件在说明书摘要公布了:本申请提供了一种终端结构、制作方法以及功率器件,包括:第一外延层;位于第一外延层一侧的掩埋层;贯穿掩埋层的第一掺杂区,第一掺杂区与掩埋层的掺杂类型相反;位于掩埋层背离第一外延层一侧的第二外延层,第二外延层内具有主结扩展区以及场限环;位于第二外延层背离所述掩埋层一侧的氧化层;其中,第二外延层和第一外延层均与掩埋层的掺杂类型相反;在第一方向上,场限环位于主结扩展区与第一掺杂区之间,第一方向垂直于第一外延层指向第二外延层的方向。本发明技术方案提供的终端结构、制作方法以及功率器件,提高了终端结构的耐压能力,进一步提高功率器件的可靠性和稳定性。
本发明授权一种终端结构、制作方法以及功率器件在权利要求书中公布了:1.一种终端结构,其特征在于,包括: 第一外延层; 位于所述第一外延层一侧的掩埋层; 贯穿所述掩埋层的第一掺杂区,所述第一掺杂区与所述掩埋层的掺杂类型相反; 位于所述掩埋层背离所述第一外延层一侧的第二外延层,所述第二外延层内具有主结扩展区以及场限环; 位于所述第二外延层背离所述掩埋层一侧的氧化层; 其中,所述第二外延层和所述第一外延层均与所述掩埋层的掺杂类型相反;在第一方向上,所述场限环位于所述主结扩展区与所述第一掺杂区之间,所述第一方向垂直于所述第一外延层指向所述第二外延层的方向; 所述氧化层背离所述掩埋层的一侧表面具有第一凹槽,所述第一凹槽延伸至所述第二外延层内,所述第一凹槽用于作为所述第一掺杂区的离子注入窗口; 具有多个在所述第一方向上间隔排布的所述场限环。
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