株式会社斯库林集团安武阳介获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置及衬底位置调整方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114256095B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111055253.5，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底处理装置及衬底位置调整方法是由安武阳介;菊本宪幸;岩尾通矩;石井弘晃;邓宝铃设计研发完成，并于2021-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置及衬底位置调整方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种处理衬底的衬底处理装置及衬底位置调整方法。本发明的衬底处理装置具备：基座，具有将圆板状衬底以水平姿势保持的保持面；旋转单元，使所述基座绕铅直的旋转轴线旋转；加热单元，加热保持在所述保持面的衬底的周缘部；偏心量测定单元，具有发出光的发光部及接收从所述发光部发出的光的受光部，在保持在所述保持面的衬底的周缘部位于所述发光部与所述受光部间的检测空间内时，测定所述衬底相对于所述旋转轴线的偏心量；定心单元，使所述保持面上的衬底相对于所述基座移动，使得所述衬底的中心部靠近所述旋转轴线；及气氛置换单元，由所述检测空间外的气氛置换存在于所述检测空间内的气氛。
本发明授权衬底处理装置及衬底位置调整方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，具备： 基座，具有将圆板状衬底以水平姿势保持的保持面； 旋转单元，使所述基座绕铅直的旋转轴线旋转； 加热单元，加热保持在所述保持面的衬底的周缘部； 偏心量测定单元，具有发出光的发光部及接收从所述发光部发出的光的受光部，在保持在所述保持面的衬底的周缘部位于所述发光部与所述受光部间的检测空间内时，测定所述衬底相对于所述旋转轴线的偏心量； 定心单元，使所述保持面上的衬底相对于所述基座移动，使得所述衬底的中心部靠近所述旋转轴线；及 气氛置换单元，由所述检测空间外的气氛置换存在于所述检测空间内的气氛；其中 所述气氛置换单元包含向所述检测空间供给气体的气体供给单元；且 所述气体供给单元包含移动气体喷嘴头，所述移动气体喷嘴头与所述发光部及所述受光部一起移动，对所述检测空间供给气体，且在保持在所述保持面的衬底的周缘部位于所述检测空间内的检测位置、与保持在所述保持面的衬底的周缘部位于所述检测空间外的退避位置之间移动。
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