东京毅力科创株式会社久保田绅治获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利测量器和求取鞘层的厚度的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113834453B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110655009.6，技术领域涉及：G01B15/02；该发明授权测量器和求取鞘层的厚度的方法是由久保田绅治设计研发完成，并于2021-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本测量器和求取鞘层的厚度的方法在说明书摘要公布了：本发明提供测量器和求取鞘层的厚度的方法，能够在等离子体处理装置中不安装专用的测量装置，而求取鞘层的厚度。一种公开的测量器包括基片以及设置于基片中或者基片上的发送电路、发送天线、接收天线、接收解调电路和运算器。发送电路生成微波。发送天线将由发送电路生成的微波作为发送波发送。接收天线至少将被基片支承器的上方的等离子体反射的发送波的反射波作为接收波接收。接收解调电路根据接收波生成反映基片与等离子体之间的鞘层的厚度的信号。运算器根据由接收解调电路生成的信号求取鞘层的厚度。
本发明授权测量器和求取鞘层的厚度的方法在权利要求书中公布了：1.一种测量器，其特征在于，包括： 基片，其能够载置在等离子体处理装置的基片支承器上； 发送电路，其设置于所述基片内或者该基片上，能够生成微波； 发送天线，其设置于所述基片内或者该基片上，能够将由所述发送电路生成的微波作为发送波发送； 至少一个接收天线，其设置于所述基片内或者该基片上，能够将被所述基片支承器的上方的等离子体反射的所述发送波的反射波作为至少一个接收波接收； 接收解调电路，其设置于所述基片内或者该基片上，能够根据所述至少一个接收波生成反映所述基片与所述等离子体之间的鞘层的厚度的至少一个信号；和 运算器，其设置于所述基片内或者该基片上，能够根据所述至少一个信号求取所述厚度。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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