细美事有限公司朴仁煌获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置、基板处理设备以及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112735975B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011145117.0，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置、基板处理设备以及基板处理方法是由朴仁煌;金成弼;金局生;金耿民设计研发完成，并于2020-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置、基板处理设备以及基板处理方法在说明书摘要公布了：本记载涉及基板处理装置、基板处理设备以及基板处理方法。基板处理装置包括：旋转单元，支承基板，并使基板旋转；药液喷出单元，向所述旋转单元喷出药液；药液回收单元，与所述旋转单元相邻设置，并回收从所述旋转单元飞散的药液；升降单元，与所述药液回收单元结合，并使所述药液回收单元能够相对于所述旋转单元沿上下方向移动；以及一个以上位置矫正部件，使所述药液回收单元能够相对于所述升降单元被弹性支承，并使得药液回收单元针对所述升降单元的相对位置能够改变。
本发明授权基板处理装置、基板处理设备以及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 旋转单元，支承基板，并使基板旋转； 药液喷出单元，向所述旋转单元喷出药液； 药液回收单元，与所述旋转单元相邻设置，并回收从所述旋转单元飞散的药液； 多个升降单元，各自与所述药液回收单元结合，并使所述药液回收单元能够相对于所述旋转单元沿上下方向移动；以及 多个位置矫正部件，分别设置于所述多个升降单元中的一个升降单元与所述药液回收单元之间，并各自使所述药液回收单元能够相对于所述升降单元被弹性支承，并且使得药液回收单元针对所述升降单元的相对位置能够改变， 所述位置矫正部件是压缩弹簧。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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