合肥皓宇芯光科技有限公司陈凯旋获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥皓宇芯光科技有限公司申请的专利一种冷却系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223772385U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520139318.1，技术领域涉及：H05K7/20；该实用新型一种冷却系统是由陈凯旋;邓超;薛健健;马丁;李成平;王坤;崔绍龙;杨皓设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种冷却系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种冷却系统，包括：进水管路与出水管路，电离台开设水流通道，进水管路与水流通道的输入端相连，出水管路与水流通道的输出端相连，进水管路与出水管路在位于真空腔体中的部位设置为钢管，在位于常压腔体中的部位设置为软管，钢管与软管相连通。本实用新型中，在极紫外发生器在工作过程中，真空腔体内的电离台温度升高，通过外部水源向进水管路中的软管通入冷却水，冷却水从软管通入至钢管中，再流经电离台，将电离台中的热量带出，最后通过出水管路中的钢管与软管向外部流出，冷却水流经电离台过程中带走热量，对电离台进行冷却，可以保证极紫外光的传输不易受到温度影响。
本实用新型一种冷却系统在权利要求书中公布了：1.一种冷却系统，适用于极紫外光发生器，所述极紫外光发生器包括防护罩1，所述防护罩1内设置有壳体2，所述壳体2内部设置有常压腔体21与真空腔体22，所述真空腔体22内设置电离台3，其特征在于，包括：进水管路与出水管路，所述电离台3开设水流通道，所述进水管路与所述水流通道的输入端相连，所述出水管路与所述水流通道的输出端相连； 所述进水管路与所述出水管路在位于所述真空腔体22中的部位设置为钢管6，在位于所述常压腔体21中的部位设置为软管4，所述钢管6与所述软管4相连通。
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