矽品科技(苏州)有限公司黄震获国家专利权
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龙图腾网获悉矽品科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆加热装置的温度监控系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223770590U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520132481.5，技术领域涉及：G05D23/30；该实用新型一种晶圆加热装置的温度监控系统是由黄震;王龙设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加热装置的温度监控系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆加热装置的温度监控系统，包括加热盘、底座、温度传感器、PLC温控柜、人机界面、独立电源及报警器，其中，加热盘位于底座上，底座上设有开关按钮及温度显示屏，温度传感器位于加热盘的底部，PLC温控柜与温度传感器电连接以接收和处理温度数据，人机界面与PLC温控柜电连接并进行信息交互以显示温度数据和设置监控温度范围，实现对加热盘温度的实时监控及预警，独立电源与PLC温控柜和人机界面电连接以为PLC温控柜和人机界面供电，报警器与PLC温控柜电连接以接收PLC温控柜的预警指令。本实用新型的晶圆加热装置的温度监控系统具备温度实时监控和温度异常报警机制，能够及时识别晶圆加热装置的加热异常，降低材料加热异常风险。
本实用新型一种晶圆加热装置的温度监控系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加热装置的温度监控系统，其特征在于，包括： 加热盘和底座，所述加热盘位于所述底座上，所述底座上设有开关按钮及温度显示屏； 温度传感器，位于所述加热盘的底部，用于测量所述加热盘的温度并形成温度数据；PLC温控柜，与所述温度传感器电连接，用于接收和处理所述温度数据； 人机界面，与所述PLC温控柜电连接并进行信息交互，用于显示所述温度数据和设置监控温度范围 独立电源，与所述PLC温控柜和所述人机界面电连接，用于为所述PLC温控柜和所述人机界面供电； 报警器，与所述PLC温控柜电连接以接收并响应所述PLC温控柜的预警指令。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人矽品科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市苏州工业园区凤里街288号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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