广州增芯科技有限公司何骏峰获国家专利权
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龙图腾网获悉广州增芯科技有限公司申请的专利涂胶显影机及其冷热板组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223770537U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520438745.X，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型涂胶显影机及其冷热板组件是由何骏峰;任佳会;周世均;朱治国设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本涂胶显影机及其冷热板组件在说明书摘要公布了：本申请提供一种涂胶显影机及其冷热板组件，用于对晶圆进行升降温，所述冷热板组件包括：底座，其上设有第一排气口，所述第一排气口与外部第一排气管相连，用于排出所述冷热板组件内的气体；热板，设于所述底座内，用于对晶圆进行加热升温；顶针，设于所述底座内且贯穿所述热板的厚度方向而设置，用于支撑晶圆；上罩，位于所述底座的上方，其上设有第一进气口，所述第一进气口与外部第一进气管相连，用于向所述冷热板组件内输送湿气。本申请让放置于涂胶显影机的冷热板组件内的晶圆上的光刻胶快速吸收湿气，让晶圆上的光刻胶快速充分完成光化学反应，减少等待的时长，提高生产效率。
本实用新型涂胶显影机及其冷热板组件在权利要求书中公布了：1.一种涂胶显影机的冷热板组件，用于对晶圆进行升降温，其特征在于，所述冷热板组件包括： 底座，其上设有第一排气口，所述第一排气口与外部第一排气管相连，用于排出所述冷热板组件内的气体； 热板，设于所述底座内，用于对晶圆进行加热升温； 顶针，设于所述底座内且贯穿所述热板的厚度方向而设置，用于支撑晶圆； 上罩，位于所述底座的上方，其上设有第一进气口，所述第一进气口与外部第一进气管相连，用于向所述冷热板组件内输送湿气。
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