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龙图腾网获悉上海讯颖电子科技有限公司申请的专利一种光刻机光罩放置板的更换机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223770534U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520454546.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机光罩放置板的更换机构是由孙晓东;闻杰设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻机光罩放置板的更换机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制作技术领域，公开了一种光刻机光罩放置板的更换机构，包括光刻机壳，所述光刻机壳的内壁顶部固定连接有支撑架，所述支撑架的外壁前侧固定连接有投影物镜机构，所述光刻机壳的内壁后侧固定连接有控制机构，所述齿轮二的外壁顶部设置有固定环，所述固定环与所述调节块卡合，所述固定环的外壁顶部固定连接有放置盘，所述光刻机壳的内壁中部固定连接有夹持机构，所述夹持机构用于夹持便捷更换结构。本实用新型中，光刻机壳作为整体框架，提供安装基础与防护，内壁顶部的支撑架连接投影物镜机构，电机带动齿轮一和齿轮二转动，实现水平方向位置调节，以适应不同光罩放置板的更换。

本实用新型一种光刻机光罩放置板的更换机构在权利要求书中公布了：1.一种光刻机光罩放置板的更换机构，包括光刻机壳1，其特征在于：所述光刻机壳1的内壁顶部固定连接有支撑架3，所述支撑架3的外壁前侧固定连接有投影物镜机构4，所述光刻机壳1的内壁后侧固定连接有控制机构9，所述光刻机壳1的内壁底部固定连接有固定架5，所述固定架5的内壁左右侧均滑动连接有移动杆6，所述固定架5的底部右侧固定连接有电动推杆7，所述电动推杆7的输出端固定连接有移动板8，所述移动板8的外壁顶部固定连接有调节架10，所述调节架10的内壁中部滑动连接有多个调节块11，所述调节架10的底部后侧固定连接有电机12，所述电机12的输出端固定连接有齿轮一13，所述调节架10的顶壁中部转动连接有齿轮二14，所述齿轮二14与所述齿轮一13啮合连接，所述齿轮二14的内壁中部开设有多个弧形槽15，所述弧形槽15滑动连接在调节块11的外壁四周，所述齿轮二14的外壁顶部设置有固定环16，所述固定环16与所述调节块11卡合，所述固定环16的外壁顶部固定连接有放置盘17，所述光刻机壳1的内壁中部固定连接有夹持机构2，所述夹持机构2用于夹持便捷更换结构。

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