上海讯颖电子科技有限公司孙晓东获国家专利权
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龙图腾网获悉上海讯颖电子科技有限公司申请的专利一种步进式光刻机的传片机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223770533U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520454544.9,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种步进式光刻机的传片机构是由孙晓东;闻杰设计研发完成,并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种步进式光刻机的传片机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及光刻机技术领域,公开了一种步进式光刻机的传片机构,包括机体,所述机体的中部设置有承载板,所述承载板的顶部左侧固定连接有电机一,所述电机一的输出端固定连接有转轴,所述转轴的外侧设置有连接绳,所述承载板的中部滑动连接有移动块,所述移动块的后侧与所述连接绳的另一端固定连接,所述移动块的前侧设置有风扇,所述移动块的右侧固定连接有弹簧,所述弹簧的另一端与所述承载板的外侧固定连接,所述机体内部安装有清理机构。本实用新型中,电机一驱动转轴转动,使连接绳缠绕或释放,拉动移动块在承载板上滑动,移动块前侧的风扇随之移动,右侧的弹簧起到缓冲作用。
本实用新型一种步进式光刻机的传片机构在权利要求书中公布了:1.一种步进式光刻机的传片机构,包括机体1,其特征在于:所述机体1的中部设置有承载板3,所述承载板3的顶部左侧固定连接有电机一4,所述电机一4的输出端固定连接有转轴5,所述转轴5的外侧设置有连接绳6,所述承载板3的中部滑动连接有移动块7,所述移动块7的后侧与所述连接绳6的另一端固定连接,所述移动块7的前侧设置有风扇8,所述移动块7的右侧固定连接有弹簧9,所述弹簧9的另一端与所述承载板3的外侧固定连接,所述机体1内部安装有清理机构2,所述清理机构2起到清理的作用。
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