赣州科视光学科技有限公司陈志特获国家专利权
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龙图腾网获悉赣州科视光学科技有限公司申请的专利一种具有光功率检测功能的DI光刻机成像镜头获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223770530U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520185282.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种具有光功率检测功能的DI光刻机成像镜头是由陈志特;杜金铃;关国荣设计研发完成，并于2025-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有光功率检测功能的DI光刻机成像镜头在说明书摘要公布了：本实用新型提供的一种具有光功率检测功能的DI光刻机成像镜头，包含光处理模块、成像镜筒，光处理模块包含壳体，壳体内部设置有内腔，壳体上设置有光敏器件，光敏器件用于监测内腔中的光线强度。光发生模块将光线照射到内腔中时，光敏器件可以实时监测到内腔中的光线强度并进行反馈，让系统及时判断到内腔中的光线强度是否在规格范围内，确保产品加工质量稳定，避免出现产品大批量不合格的情况，降低损失。
本实用新型一种具有光功率检测功能的DI光刻机成像镜头在权利要求书中公布了：1.一种具有光功率检测功能的DI光刻机成像镜头，其特征在于，包含光处理模块、成像镜筒，所述光处理模块包含壳体，所述壳体内部设置有内腔，所述壳体上设置有光敏器件，所述光敏器件用于监测所述内腔中的光线强度。
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