深圳市建安智控技术有限公司林创光获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市建安智控技术有限公司申请的专利一种集成电路光刻胶涂覆装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223770528U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520378173.0，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种集成电路光刻胶涂覆装置是由林创光;陈锐;徐俊亮设计研发完成，并于2025-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成电路光刻胶涂覆装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于光刻胶涂覆技术领域，具体的说是一种集成电路光刻胶涂覆装置，包括底座，所述底座上固接有壳罩，所述壳罩内开设有环形槽，环形槽内设置有防护罩，所述防护罩的顶侧固接有四个连接座，所述底座上安装有四个第一气动缸，每个第一气动缸的作用端均装配有第一气动杆，且所述第一气动缸的顶端固接在连接座；本实用新型在使用时，能够使晶圆在转动过程中，从晶圆边缘甩出的光刻胶进行有效的阻挡，避免了光刻胶的飞溅和浪费，被阻挡的光刻胶落入壳罩内，并通漏口流入环形收集盒内，从而能够对甩出的光刻胶进行有效的收集，避免了光刻胶的浪费和环境污染，同时收集在环形收集盒内的光刻胶可以经过处理后再利用，降低了材料成本。
本实用新型一种集成电路光刻胶涂覆装置在权利要求书中公布了：1.一种集成电路光刻胶涂覆装置，其特征在于：包括底座1，所述底座1上固接有壳罩2，所述壳罩2内开设有环形槽，环形槽内设置有防护罩3，所述防护罩3的顶侧固接有四个连接座4，所述底座1上安装有四个第一气动缸5，每个第一气动缸5的作用端均装配有第一气动杆6，且所述第一气动缸5的顶端固接在连接座4，所述壳罩2的底部与底座1配合共同开设有多个漏口7，所述底座1的端口底侧固接有环形收集盒8，且所述环形收集盒8内设置有倾斜块9，所述环形收集盒8上连接有排液管10，所述排液管10上装配有单向阀，所述壳罩2的底部转动安装有旋转柱11，所述旋转柱11的顶端固接有吸气箱12，所述吸气箱12的顶侧开设有吸气孔13，所述壳罩2的底侧安装有电动机15，所述电动机15的输出端安装有主动齿轮16，所述旋转柱11上套装有从动齿轮14，且所述主动齿轮16与从动齿轮14相互啮合。
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