浙江创芯集成电路有限公司李卓京获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利光罩容置系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223770527U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423122818.9，技术领域涉及：G03F1/82；该实用新型光罩容置系统是由李卓京设计研发完成，并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩容置系统在说明书摘要公布了：本公开提供一种光罩容置系统，其中，光罩容置系统包括：容置架，容置架包括：相邻且水平设置的底部承载板以及顶部承载板，底部承载板位于顶部承载板下方；安置板，安置板竖直的位于底部承载板与顶部承载板之间，安置板的顶端固定于顶部承载板的底面，安置板的底端固定于承载板的顶面；安置件，安置件固设于安置板的第一侧面，用于将光罩结构安置于安置板的第一侧面一侧，并使光罩结构的待处理表面在清洁状态下能够处于竖直状态；其中，安置板的第一侧面具有充气口以及吸气口，充气口用于向光罩结构的待处理表面输入清洁用的气体，吸气口用于吸收对光罩结构清洁后的气体。采用上述技术方案，能够对光罩结构的待处理表面进行除尘。
本实用新型光罩容置系统在权利要求书中公布了：1.一种光罩容置系统，其特征在于，包括： 容置架，所述容置架包括： 相邻且水平设置的底部承载板以及顶部承载板，所述底部承载板位于所述顶部承载板下方； 安置板，所述安置板竖直的位于所述底部承载板与所述顶部承载板之间，所述安置板的顶端固定于所述顶部承载板的底面，所述安置板的底端固定于所述承载板的顶面； 安置件，所述安置件固设于所述安置板的第一侧面，用于将光罩结构安置于所述安置板的第一侧面一侧，并使所述光罩结构的待处理表面在清洁状态下能够处于竖直状态； 其中，所述安置板的第一侧面具有充气口以及吸气口，所述充气口用于向所述光罩结构的待处理表面输入清洁用的气体，所述吸气口用于吸收对所述光罩结构清洁后的气体。
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