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龙图腾网获悉安徽京仪自动化装备技术有限公司申请的专利一种绝缘电阻的测量装置及半导体制程系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223770286U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423015109.0，技术领域涉及：G01R27/02；该实用新型一种绝缘电阻的测量装置及半导体制程系统是由闵旭辉;刘家欢;袁威;张启伟;关理才;滕汉生设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种绝缘电阻的测量装置及半导体制程系统在说明书摘要公布了：一种绝缘电阻的测量装置及半导体制程系统。该测量装置包括柜体、固定部、测量电路和控制电路。固定部设置于柜体的上表面，包括第一固定单元。第一固定单元包括：第一驱动机构，固定于柜体上表面的连接部；第一固定块，与第一驱动机构可移动地连接，设置第一测量触点和至少一个第二测量触点。至少一个第二测量触点与待测量物的测量触点相接触，第一测量触点接地。测量电路包括：测量模块，一端与第一测量触点连接，另一端与至少一个第二测量触点连接；至少一个第一开关组，一端与至少一个第二测量触点连接，另一端与第一测量触点连接。控制电路包括：第二开关组，与第一驱动机构连接。该测量装置可以提高测量结果的可靠性。

本实用新型一种绝缘电阻的测量装置及半导体制程系统在权利要求书中公布了：1.一种绝缘电阻的测量装置，其特征在于，所述测量装置包括： 柜体，所述柜体的上表面固定设置连接部，所述连接部为L形，所述连接部的长臂端垂直固定于所述柜体的上表面，所述连接部的短臂端与所述柜体的上表面形成空隙； 固定部，固定设置于所述柜体的上表面，包括： 第一固定单元，包括： 第一驱动机构，一端固定于所述连接部的短臂端； 第一固定块，一端与所述第一驱动机构的另一端可移动地连接，受所述第一驱动机构的驱动沿与所述柜体的上表面垂直的第一方向往复运动，另一端设置第一测量触点和至少一个第二测量触点； 所述第一固定块接触待测量物的情况下，所述至少一个第二测量触点与所述待测量物的测量触点相接触，所述第一测量触点接地； 测量电路，设置于所述柜体中，包括： 测量模块，一端与所述第一测量触点电连接，另一端与所述至少一个第二测量触点电连接； 至少一个第一开关组，一端与所述至少一个第二测量触点电连接，另一端与所述第一测量触点电连接，以控制对所述待测量物的测量触点与所述第一测量触点之间的绝缘电阻的测量； 控制电路，设置于所述柜体中，包括： 第二开关组，与所述第一驱动机构电连接，控制所述第一驱动机构的运动。

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