铧友益科技股份有限公司朱俊龙获国家专利权
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龙图腾网获悉铧友益科技股份有限公司申请的专利晶圆检测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223770100U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520020658.2，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型晶圆检测系统是由朱俊龙;温国政;罗美铃;唐明志;郑景鸿设计研发完成，并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆检测系统在说明书摘要公布了：一种晶圆检测系统，包含旋转座，与所述旋转座间隔设置的影像撷取单元及照明单元。所述旋转座包括载台，及用于带动所述载台转动的驱动模块。所述影像撷取单元包括第一线扫描相机，所述第一线扫描相机用于朝向承载于所述载台的晶圆片拍摄。定义以与所述晶圆片垂直的方向通过所述晶圆片的辅助面，且所述辅助面界定出与所述第一线扫描相机同侧的第一侧，及相反于所述第一侧的第二侧。所述照明单元包括至少一个能设置于所述第一侧或第二侧的光源。所述光源位于所述第一侧时，使所述第一线扫描相机拍摄暗场影像，位于所述第二侧时，则拍摄明场影像，以达成全方位的检测。
本实用新型晶圆检测系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测系统；其特征在于：包含： 旋转座，包括适用于承载晶圆片的载台，及连接于所述载台并用于带动所述载台转动的驱动模块； 影像撷取单元，与所述旋转座间隔设置，并包括第一线扫描相机，所述第一线扫描相机用于朝向承载于所述载台上的所述晶圆片，在所述载台转动的同时拍摄暗场影像及明场影像；及 照明单元，与所述旋转座间隔设置，定义以与所述晶圆片垂直的方向通过所述晶圆片的辅助面，且所述辅助面界定出与所述第一线扫描相机同侧的第一侧，及相反于所述第一侧的第二侧，所述照明单元包括至少一个能设置于所述第一侧或所述第二侧的光源，所述光源位于所述第一侧时，能使所述第一线扫描相机拍摄所述暗场影像，所述光源位于所述第二侧时，能使所述第一线扫描相机拍摄所述明场影像。
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