荣芯半导体(宁波)有限公司徐月获国家专利权
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龙图腾网获悉荣芯半导体(宁波)有限公司申请的专利水平检测装置及等离子体化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223769514U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520432092.4，技术领域涉及：G01C9/00；该实用新型水平检测装置及等离子体化学气相沉积设备是由徐月;张振通;张雷设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本水平检测装置及等离子体化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种应用于等离子体化学气相沉积设备的水平检测装置和等离子体化学气相沉积设备，其至少包括反应腔、加热器、冷却构件，基座，水平检测装置包括：至少两组光传感器，用于测量各自所在位置处冷却构件和基座之间间隔的距离，每组光传感器包括相对设置的光发射器和光接收器，其中，每组光传感器的光发射器和光接收器中的一者设置于冷却构件上，另一者设置于基座上，光发射器用于发射光信号，光接收器接收光信号；显示器，显示器电连接光传感器，用于显示每组光传感器接收到的光信号的强度值和或每组光传感器测量的其所在位置处冷却构件和基座之间间隔的距离，通过显示器显示的强度值和或距离反映加热器的水平情况。
本实用新型水平检测装置及等离子体化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种应用于等离子体化学气相沉积设备的水平检测装置，其特征在于，所述等离子体化学气相沉积设备至少包括反应腔、加热器、冷却构件，基座，至少部分所述加热器设置于所述反应腔内，所述冷却构件连接于所述加热器并位于所述反应腔外，所述冷却构件设置于所述基座上方，所述水平检测装置包括： 至少两组光传感器，用于测量各自所在位置处所述冷却构件和所述基座之间间隔的距离，每组所述光传感器包括相对设置的光发射器和光接收器其中，每组所述光传感器的光发射器和光接收器中的一者设置于所述冷却构件上，另一者设置于所述基座上，所述光发射器用于发射光信号，所述光接收器接收所述光信号； 显示器，所述显示器电连接所述光传感器，用于显示每组所述光传感器接收到的所述光信号的强度值和或每组所述光传感器测量的其所在位置处所述冷却构件和所述基座之间间隔的距离，通过所述显示器显示的所述强度值和或所述距离反映所述加热器的水平情况。
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